ブルックAFM寸法エッジ

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概要

ブルックAFM寸法エッジ

製品詳細

【製品概要】

Dimension® Edge ™ 原子間力顕微鏡は最新技術を採用し、その計器性能、試験機能と操作性は同類製品の中で最高レベルにある。Dimensionシリーズの中性価比が最も高い閉ループ走査原子間力顕微鏡であり、特許のセンサ設計は騒音とドリフトを著しく低減し、閉ループの精度を得ただけでなく、開ループの騒音レベルを有し、大サンプル台AFM上で小サンプル台AFMのイメージング性能を実現した。

【主な用途】

1、主に材料ナノスケールの表面形態、粗さの測定に用いられ、同時にナノ材料の表面機械性能、電気学、磁気学と電気化学などの物理特性などをテストすることができる、

2、半導体、ナノ材料、通信、生物学、データ保存、食品、化学、地質、エネルギー、環境などの分野に広く応用されている。

【主なパラメータ】

X−Y方向走査範囲	90μmx 90μm（標準値）、85μm（最小値）
Z方向走査範囲	10μm（標準値）、9.5μm（最小値）
たて騒音レベル	＜50 pm RMS値（適切な環境、典型的な撮像帯域幅条件（最高625 Hz）））
XY方向閉ループ騒音レベル	＜0.15 nm RMS値（典型的な撮像帯域幅条件（最高625 Hz））＞
MXYZ三方向の非線形	<0.5%（標準）
サンプルサイズと固定方式	150 mm直径、真空吸着、15 mm厚さ、パッドを選択可能な場合、最大40 mm厚
モータ駆動サンプルテーブル（X-Y軸）	150 mmx 150 mmの可視測定領域、真空吸着可能、プログラム可能なマルチエリアスキャン、360回転可能
光学系及び針下げ機構	5メガピクセルデジタルカメラ、 180μmから1465μmの可視領域、デジタルスケーリング、モータ駆動フォーカス、単軸垂直下針、ソフトウェア自動制御
信号入出力	コントローラ内蔵の構成可能な信号入出力、カスタマイズ可能な信号入出力、デジタルフィードバック、デュアルデジタル位相ロックアンプを含む
たんてんスペクトルせん	3軸閉ループ制御はpoint-and-shoot式位置決めとスペクトル線測定を実現することができる、熱同調方式の弾性定数較正機能を内蔵している、
温度制御	オプション-35〜+250℃の加熱/冷却アタッチメント、ガス交換機能を含む、

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