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アドレス
北京市朝陽区酒仙橋路14号メガビル6階616室
北京亜科晨旭科技有限公司
概要
CentroTherm OXIDTOR 150高温酸化炉
製品詳細
【製品概要】
centrothermc.OXIDATOR 150は高温炉であり、商先創会社の熱分解案は炭化ケイ素（SiC）の酸化に特化して設計された。
プロセス温度は1500℃に達し、酸素（O2）、一酸化二窒素（N2O）、酸化窒素（NO）、二酸化窒素（NO2）または湿式法による酸化により、柔軟性と業界で証明されたプロセス品質を完璧に結合させる。無金属加熱と二重真空装備を持ち、c.OXIDATOR 150は現在、市場で最も安全で有毒ガスを利用できる酸化炉である。
【適用プロセス】
・酸化
【製品の利点】
・2インチ、3インチ、4インチ、6インチウエハ、または任意の組み合わせのバッチ加工
・最高加熱速度7.5度/分
・最大50枚（150 mm）のウェハバッチ
・加工圧力範囲850 mbarから大気圧
