Bruker DektakXTL階段計

ブルック社の新型Dektak XTL™プローブ式輪郭計システムは350ミリ×350ミリまでのサンプルを収容でき、優れた繰り返し性を大判ウェハ及びパネル製造業に応用する。Dektak XTL統合ガス免震装置と便利なインタラクティブロック装置は機器を全閉鎖作業環境下で動作させ、複雑な生産環境に対応できる。デュアルカメラ設定とハイレベル自動化機能により、生産性を最大限に高めることができます。ブルック社特有のグラフィックス認識機能を備えたVision 64® ソフトウェア及び自動生産インタフェースは、IC級ユーザーの需要を満たし、データ収集を自動化のプロセスにし、オペレータの変化による影響を最大限に低減することができる。

1、主に膜厚、応力、表面粗さと表面形態の測定に用い、ナノスケールの表面輪郭測定を実現する、

2、半導体装置、MEMS、金属メッキ、ペンキメッキ、ガラスメッキ、太陽光、LED、タッチパネル、医療などの分野。