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アドレス
北京市朝陽区酒仙橋路14号メガビル6階616室
北京亜科晨旭科技有限公司
概要
Trymax 3400シリーズ自動乾燥脱ガム
製品詳細
【主な用途】
前道：Light Etching、Descum strip；PR Ashing；イオン注入後、フォトリソグラフィ後、めっき前などのプロセス、
バックトラック/先進パッケージ/3 D IC：Descum Bumping、Plasma Treatment；Wafer Cleaningなど。
【主なパラメータ】
•上下材機構4個（300 mm）
•4軸マニピュレータとX移動
•シングル無線周波数ソース構成（13.56 MHz）
•シングルマイクロ波ソース構成（2.45 GHz）
•デュアルソース構成（RF/MW）
•DCPデュアルソース（RF/RF）
•適応wafer 200 mm～300 mm
