システムレベル精度レーザ定規

中図計器PLR 3000シリーズシステムレベル精度レーザ定規レーザー干渉コア技術+ハードコアデータで支持し、分解能は10 nmに達することができ、線形精度は0.2 ppmに達し、複雑な工業シーンに正確で信頼性のある位置フィードバックと制御を提供する。超精密加工、マイクロエレクトロニクス製造、フォトリソグラフィ技術、航空宇宙などの高要求分野で広く応用されている。

従来の鋼帯定規やガラス格子に比べて、光ファイバレーザ定規はより正確な格子距離とより高い分解能を持ち、同時にその熱源隔離設計は、より高い安定性を保証し、設置が迅速で、正確でありやすいなどの特徴を持っている。

一、コアデータ

1.精度天井

10 nmの高解像度（外部拡張をサポート）、PRO版の線形精度は0.2 ppm（通常版0.5 ppm）に達し、周波数安定精度は0.02 ppmまで低く、4 mの測定距離誤差はわずか0.8μmに相当し、ナノメートル級の生産検査需要を満たす、

2.全会場の景色が似合う

最大レンジ4 m（必要に応じて拡張可能）、動的測定速度は2 m/sをサポートし、静的実験室で検出された高速生産ライン連動の全シーンをカバーする、

3.環境耐干渉

一体化環境気象ステーションは温度（10-40℃）、気圧（650-1150 mbar）、湿度（0-95%結露なし）の影響をリアルタイムで補償し、実測は-10℃から45℃のモードで、データの安定性は±0.1 ppm以内を維持した、

4.柔軟なインストール設計

レーザーホスト（2.8 Kg）はプローブ（460-500 g）と分離し、3 mシース光ファイバ接続（カスタマイズ可能な長さ）し、狭い空間に圧力がなく、アッベ誤差が60%以上低下した。

三、核心優勢

1.精度圧延伝統方案

格子距離精度はガラス格子の3倍であり、解像度は鋼帯尺より100倍高く、環境適応性は伝統設備が対応できない状況をカバーする、

2.柔軟なカスタマイズに敷居がない

単一/二軸/三軸出力をサポートし、差分/平面鏡/角錐プリズムプローブ（最高解像度0.5 nm）を選択可能、距離、ケーブル長はすべてカスタマイズ可能で、90%以上の複雑なシーンに適合する、

3.設置に要する省コスト

体積が小さく（プローブは手のひらサイズのみ）、アライメント調整角度が±1.5°に達し、設置調整時間が50%短縮され、専門技術チームが配置を完了する必要がない、

4.二重使用価値

PLR 3000シリーズシステムレベル精度レーザ定規独立レーザ干渉計として測定することもできるし、システムにアクセスして閉ループ位置フィードバック制御を実現することもでき、1台の装置は多重需要を満たす。

四、応用例

1.半導体製造：フォトリソグラフィーウエハの正確な位置決め、精密ワークステーションの閉ループフィードバック、チップ製造の良率向上を支援する

2.航空宇宙：エンジン翼の変形検査、高精度組立校正、コア部品の信頼性を保障する

3.精密加工：NC工作機械の多軸連動位置フィードバック、マイクロ機械部品測定、加工精度と効率向上

4.科学研究分野：光学プラットフォームの安定性モニタリング、超精密実験設備の制御、最前線研究データの精度を支持する

注意：製品パラメータは技術の反復に従って最適化され、関連内容はリアルタイムで更新される可能性があり、予告なしにご了承ください。

パラメータの詳細、協力政策、またはサンプルテストを取得する必要があれば、中図計器に連絡して、中図専門チームはあなたのために生産のアップグレードを提供することを歓迎します！