フィルム段差計ブランド

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概要

NSシリーズ薄膜段差計ブランドのOEM級精度、多シーン適合性と知能化操作は、段差高さ（ナノメートルから1050μm）、表面粗さ（Ra、Rzなどのパラメータ）、膜層厚さと応力分布を正確に測定でき、材料の研究開発、プロセスの最適化と品質管理に信頼性のあるデータサポートを提供する。

製品詳細

中図計器NSシリーズフィルム段差計ブランドOEMレベルの精度、多シーン適合性とインテリジェント化操作は、階段高さ（ナノメートルから1050μm）、表面粗さ（Ra、Rzなどのパラメータ）、膜層の厚さと応力分布を正確に測定でき、材料の研究開発、プロセスの最適化と品質管理に信頼性のあるデータサポートを提供する。

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一、製品機能

1、パラメータ測定機能

（1）段差高さ：ナノメートルから330μmまたは1050μmまでの段差高さを測定でき、エッチング、スパッタリング、SIMS、堆積、スピンコーティング、CMPなどのプロセス中に堆積または除去された材料。

（2）粗さとうねり：サンプルの粗さとうねりを測定でき、分析ソフトウェアは走査したミクロ輪郭曲線を計算することにより、粗さとうねりに関するRa、RMS、Rv、Rp、Rzなど数十項のパラメータを得ることができる。

（3）応力測定：多種の材料の表面応力を測定することができる。

2、測定モードと分析機能

（1）単領域測定モード：Focusが完了したら、画像ナビゲーション図に基づいてスキャン開始点とスキャン長を設定すれば、測定を開始することができる。

（2）多領域測定モード：Focusを完成した後、映像ナビゲーション図に基づいて単領域走査経路の設定を完成し、横方向と縦方向の距離に基づいていくつかから数十数百項の走査経路からなる多領域測定モードをアレイ形成し、ワンクリックですべての走査経路の自動測定を完成することができる。

（3）3 D測定モード：Focusを完成した後、画像ナビゲーション図に基づいて単領域スキャン経路の設定を完成し、必要なスキャンの領域幅またはスキャンラインの間隔と数量に基づいてスキャン面領域全体の設定を完成することができ、ワンクリックで自動的にスキャン面領域全体のスキャンと3 D画像再構築を完成することができる。

（4）SPC統計分析：異なる種類の被測定物に対して多種の指標パラメータの分析をサポートし、ロットサンプルの測定データに対してSPC図表を提供してデータの変化傾向を統計する。

3、デュアルナビゲーション光学映像機能

NS 200-Dモデルには、正面または斜視の500 W画素のカラーカメラが搭載されており、正面ナビゲーション映像システムではスキャン経路を正確に設定でき、斜視ナビゲーション映像システムではスキャン軌跡をリアルタイムでフォローすることができる。

4、高速針交換機能

磁気吸引式測針を採用し、針交換操作を実行する必要がある場合、現場で走査測針を迅速に交換することができ、ソフトウェア中の標定モジュールに基づいて高速標定を行い、針交換後の精度と繰り返し性を確保し、メンテナンスの悩みを減らす。

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二、応用分野

NSシリーズフィルム段差計ブランド応用場面の適応性が強く、それは測定試料の反射率特性、材料種類及び硬度などに対して特別な要求がなく、半導体、太陽光起電力、光学加工、LED、MEMSデバイス、マイクロナノ材料の製造などの各業界内の工業企業と大学院などの科学研究単位に広く応用でき、それは表面ミクロ形態パラメータの正確な特性評価、関連材料の評価、性能の分析と加工技術の改善に対して重要な意義がある。