無図ウエハ厚測定システム

中図計器WD 4000無図ウエハ厚測定システム1台の設備は厚さ、三次元形態、粗さの全パラメータ測定を行い、多設備の煩雑な配合に別れを告げ、高精度と高効率を両立し、多業界の超精密検査需要に適している。

一、製品優勢

1、高精度測定、データ信頼性

（1）スペクトル共焦点対射技術＋白色光干渉技術、Z方向分解能は0.1 nmに達し、サブナノメートル級の局所高さ測定は、ナノメートルからマイクロメートル級のワーク検出需要を満たす。

（2）SEMI/ISO/ASME/EUR/GBTの四大基準300余種類のパラメータ評価をサポートし、測定結果は遡及できる。

2、大ストローク高速、多規格ワークの配置に適している

（1）400 x 400 x 75 mm大ストロークドア構造、最大移動速度500 mm/s、検出効率2倍。

（2）最大12インチウエハと互換性があり、静電放電コーティング真空チャックを組み合わせ、平滑/粗さ、低/高反射率などの多種の表面ワークを配合する。

3、安定した耐干渉、操作に憂いがない

（1）花崗岩台座＋防振設計、地面と音波振動を防ぎ、測定重複性に優れている。

（2）二重衝突防止＋電動対物レンズ切換＋XYZハンドル、操作フローを簡略化し、誤操作リスクを低減し、訓練コストを削減する。

4、インテリジェント自動化、工業パイプラインに適合

（1）Mapping追従技術＋マシンビジョンMark点定位、多点、線、面の自動測定をサポートし、CNCモードはスキャンコードガン入力に適合する。

（2）仮想治具はサンプルを整列させ、多点形態の連続自動化検査を実現でき、量産シーンに適している。

二、コア機能

1、非接触測定：炭化ケイ素、サファイア、ケイ素などの精密ワークの表面を傷つけないようにし、測定対象物の完全性を保護する。

2、一体集積設計：複数の設備の切り替えが必要なく、同時に厚さ、TTV、LTV、BOW、WARP、粗さと三次元形態測定により、場所と投入コストを節約する。

3、測定ソフトウェア機能データ管理+分析+ドッキングの全プロセスの開通：

（1）全機能測定と分析

①被覆厚さ、三次元形態、粗さ、幾何学的輪郭などのコア測定ニーズ、段差の高さ、角度、曲率などの特徴測量と形状公差評価をサポートする。

②ISO規格の全パラメータ粗さ分析、穴の体積統計、周波数分析などを含む5大分析モジュールを内蔵し、深さ検出の需要を満たす。

（2）効率的なデータ管理

①測定記録を集中的に管理し、ワーク型番、検査日付、識別コードなどの多次元検索をサポートし、追跡が便利である。

②TXT報告書の測定待ちポイントの導入をサポートし、手動で入力する必要がなく、検査効率を高める。

（3）柔軟な出力とドッキング

①Excel/Word/TXT/SPC報告書を出力し、Mapping図、制御図及びCA/PPK/CPKなどの統計値を付属し、品質管理制御の需要を満たす。

②SECS/MES伝送に対応し、カスタムリモートデータドッキングをサポートし、工場の既存生産システムにシームレスに融合する。

三、応用分野

WD4000 の無図ウエハ厚測定システム基板製造、ウエハ製造、パッケージプロセス検出、3 C電子ガラススクリーン及び精密部品、光学加工、表示パネル、MEMSデバイスなどの超精密加工分野に使用される。

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注意：製品パラメータは技術のアップグレードに基づいてリアルタイムで更新される可能性があり、具体的には最新の構成を基準として、詳細はカスタマーサービスに問い合わせて完全な資料を得ることができる。