EVG 610 BAアライメントシステム

ネゴシエーション可能更新03/19

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概要

EVG 610 BAは手動研究開発型結合アライメント装置であり、両面光学アライメントを採用し、EVG 501、EVG 510結合機の結合アライメントに適している。

製品詳細

製品概要：

EVG 610 BAは手動研究開発型結合アライメント装置であり、両面光学アライメントを採用し、EVG 501、EVG 510結合機の結合アライメントに適している。

主な特徴とパラメータ：

・最大6インチ（150 mm）ウェハ対応

・アライメント精度：

ボトムアライメント精度≦±2μm 3σ

透明アライメント精度≦±1μm 3σ

・赤外線アライメントのオプション

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