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アドレス
北京市朝陽区酒仙橋路14号メガビル6階616室
北京亜科晨旭科技有限公司
概要
EVG 50は高速で高精度な厚さ測定ツールであり、多層または単層ウエハ上の各層の厚さの測定に多く用いられている。
製品詳細
製品概要：
EVG 50は高速で高精度な厚さ測定ツールであり、多層または単層ウエハ上の各層の厚さの測定に多く用いられている。
主な特徴とパラメータ：
・多層厚さ測定
・中間層厚さ測定
・結合界面検査
・単独の機器として使用したりEVGの大型プロセスプラットフォームに統合したりすることができる
