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EVG 50検出システム

ネゴシエーション可能更新03/19

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概要

EVG 50は高速で高精度な厚さ測定ツールであり、多層または単層ウエハ上の各層の厚さの測定に多く用いられている。

製品詳細

製品概要：

EVG 50は高速で高精度な厚さ測定ツールであり、多層または単層ウエハ上の各層の厚さの測定に多く用いられている。

主な特徴とパラメータ：

・多層厚さ測定

・中間層厚さ測定

・結合界面検査

・単独の機器として使用したりEVGの大型プロセスプラットフォームに統合したりすることができる

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