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EVG 40 NT検出システム

ネゴシエーション可能更新03/19

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概要

EVG 40 NTは主にCDサイズ測定と結合アライメント測定に用いられる装置であり、レベルの高い精度を有し、EVG GEMINI FBにおける100 nm結合精度の検証ツールとすることができる。

製品詳細

製品概要：

EVG 40 NTは主にCDサイズ測定と結合アライメント測定に用いられる装置であり、レベルの高い精度を有し、EVG GEMINI FBにおける100 nm結合精度の検証ツールとすることができる。

主な特徴とパラメータ：

・トップダウン顕微鏡流体測定

・アライメント精度測定

・CDサイズ測定

・多層厚さ測定

・単独の機器として使用したりEVGの大型プロセスプラットフォームに統合したりすることができる

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