EVG 320ウェハ洗浄システム

ネゴシエーション可能更新03/19

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概要

EVG 320は自動単結晶洗浄設備であり、メガ音響洗浄を用いて結合前にウエハ表面を洗浄し、結合品質を向上させる。

製品詳細

製品概要：

EVG 320は自動単結晶洗浄設備であり、メガ音響洗浄を用いて結合前にウエハ表面を洗浄し、結合品質を向上させる。

主な特徴とパラメータ：

・最大12インチ（300 mm）ウエハに適用可能

・FOUP-to-FOUPまたはCassette-to-Cassette全自動運転

・1 MHzメガサウンド洗浄ヘッドを用いて、＞1μmの粒子を効果的に除去する

・最大4つの洗浄チャンバを配置可能

・ロボット処理によるプリアライメント精度の確保

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