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住所
北京市朝陽区酒仙橋路14号メガビル6階616室
北京亜科晨旭科技有限公司
概要
EVG 301は研究開発型単結晶洗浄設備であり、メガ音響洗浄を用いて結合前にウエハ表面を洗浄し、結合品質を向上させる。
製品詳細
製品概要：
EVG 301は研究開発型単結晶洗浄設備であり、メガ音響洗浄を用いて結合前にウエハ表面を洗浄し、結合品質を向上させる。
主な特徴とパラメータ：
・最大12インチ（300 mm）ウエハに適用可能
・1 MHzメガサウンド洗浄ヘッドを用いて、＞1μmの粒子を効果的に除去する
