EVG 301ウェハ洗浄システム

ネゴシエーション可能更新03/19

オンライン相談

概要

EVG 301は研究開発型単結晶洗浄設備であり、メガ音響洗浄を用いて結合前にウエハ表面を洗浄し、結合品質を向上させる。

製品詳細

製品概要：

EVG 301は研究開発型単結晶洗浄設備であり、メガ音響洗浄を用いて結合前にウエハ表面を洗浄し、結合品質を向上させる。

主な特徴とパラメータ：

・最大12インチ（300 mm）ウエハに適用可能

・1 MHzメガサウンド洗浄ヘッドを用いて、＞1μmの粒子を効果的に除去する

同類製品の推奨