Bruker NPFLEX白色光干渉計

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概要

Bruker NPFLEX白色光干渉計

製品詳細

【製品概要】

NPFlex三次元表面測定システムは白色光干渉原理に基づいて、精密機械加工分野の大サンプル表面特性測定に適切な解決策を提供し、開放式の龍門設計はより大きな測定空間を提供し、従来の一部部品の角度や配向による測定困難を克服した。NPFlexはユーザーに接触式方法よりも多くのデータ量、より高い解像度、より良い繰り返し性を提供し、それを精密機械加工分野の優れた測定方案として医療インプラント、航空宇宙、自動車または精密加工上の大型、異型ワークの測定に広く使用できるようにする。

【主な用途】

1、広い範囲のサンプル表面形態、粗さ、三次元輪郭などの特性の迅速な測定に使用する；

2、半導体材料の表面粗さ、セラミック基板の反り、レーザーエッチング跡、BUMP三次元構造、MEMSデバイスのキーサイズ、TSV穴サイズ、精密機械加工部品などの分野の測定に広く応用されている。

【主なパラメータ】

RMS反復性	0.004nm
垂直解像度	0.1nm
最大サンプルサイズ	H:249mm D:304mm W:304mm
サンプルテーブルベアリング	50キロ
よこほうこうサンプリングかんかく	0.1µmから13.2µm（搭載FOV接眼レンズと干渉対物レンズの倍数で決定）
光学横方向分解能	最大350 nm
ステップ試験精度	0.75%
ステップくりかえしせい	<0.1% 1σ
傾斜調整	手動±45°/自動調整±6°
すいちょくそうさそくど	最速96 um/秒、ユーザー自身で設定可能
認証基準	セリウム、NRTL、Tマーク、ROHS、ANSI B46.1

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