Bruker DektakXT階段計

ネゴシエーション可能更新03/19

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概要

Bruker DektakXT階段計

製品詳細

【製品概要】

新しいDektakXTは、フルカラーHDカメラを搭載し、64ビット同期データ処理モードを利用して正確な測定と操作効率を達成する単一アーチ型の設計を採用した世界初のステップ計となった。過去40年以上の間、ブルックの階段計の開発と生産は実践的に革新を続けてきたが、DektakXTはこのような創始的なスタイルを続けてきた。

【主な用途】

1、主に膜厚、応力、表面粗さと表面形態の測定に用い、ナノスケールの表面輪郭測定を実現する、

2、半導体装置、MEMS、金属メッキ、ペンキメッキ、ガラスメッキ、太陽光、LED、タッチパネル、医療などの分野。

【主なパラメータ】

すいちょくレンジ	1mm
垂直解像度	最大0.1 nm
シングルスキャン長	55 mm（最大200 mm）
最大サンプル高さ	50mm
サンプルテーブルサイズ	100 mmX 100 mm（手動）150 mmX 150 mm（自動）
サンプルテーブル回転	360度連続回転
ステップ試験精度	<5Å（1μmステップで1シグマ）

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