Bruker ContourGT-X白色光干渉計

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Bruker ContourGT-X白色光干渉計

製品詳細

【製品概要】

ContourGT-Xは実験室の研究開発と工業生産の両方に適用可能な高性能機器である。それは前10世代製品の白色光干渉技術における革新を蓄積し、迅速な3次元表面測定を実現し、ナノメートル級表面粗さ測定からミリ級ステップの測定まで、垂直分解能はサブナノメートル級に達することができる。プログラム可能なXYZ制御と独自の走査ヘッド自動制御により、計器テスト空間が大幅に拡大され、多種の自動化機能により、操作の使用が簡単で容易になる。最新のVision 64ソフトウェアを搭載し、業界最強のデータ分析機能を持ち、その最適化設計されたユーザーインタフェースはユーザー自身が測定とデータ分析を定義するのに極めて便利を提供している。内部レーザー自己較正特許技術は、環境や機械的不安定性によるドリフトを自動的に較正し、標準ブロックを必要とせず、使用コストを削減してテストの精度を保証することができる。

【主な用途】

1、広い範囲のサンプル表面形態、粗さ、三次元輪郭などの特性の迅速な測定に使用する；

2、半導体材料の表面粗さ、セラミック基板の反り、レーザーエッチング跡、BUMP三次元構造、MEMSデバイスのキーサイズ、TSV穴サイズ、精密機械加工部品などの分野の測定に広く応用されている。

【主なパラメータ】

すいちょくレンジ	0.1 nmから10 mm（閉ループの継ぎ目なし）
垂直解像度	0.01nm
電動サンプルテーブル移動範囲	±200 mm（XY軸）/100 mm（Z軸）、XYZ三軸自動
よこほうこうサンプリングかんかく	0.1µmから13.2µm（搭載FOV接眼レンズと干渉対物レンズの倍数で決定）
光学横方向分解能	最大350 nm
ステップ試験精度	0.75%
ステップくりかえしせい	<0.1% 1σ
傾斜調整	オートレンズ調整±6°
すいちょくそうさそくど	最速117 um/秒、ユーザー自身で設定可能
マシンアライメント方式	レーザー自己較正（オプション）
フォーカス機能	レンズのオートフォーカス、干渉縞光強度の自動調整

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