Bruker ContourGT-K白色光干渉計

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概要

Bruker ContourGT-K白色光干渉計

製品詳細

【製品概要】

ContourGT-K三次元光学輪郭計は完全な表面測定と分析機能を持ち、工業をリードする測定性能と柔軟性を持っている。特許の白色光干渉技術を用いて、超大視野内のオングストローム級からミリ級までの垂直計量レンジは、業界最高の垂直解像度と測定繰り返し性を有する。その直感的なユーザーインターフェースは、ユーザーが材料の表面粗さ、2次元/3次元表面輪郭、および複数の高精度データを迅速かつ効率的に取得するのに便利であり、IC半導体、LED、太陽電池、薄膜材料、MEMS、精密機械部品、摩擦摩耗などの各分野は、各種表面測定の実際の需要を満たしている。

【主な用途】

1、広い範囲のサンプル表面形態、粗さ、三次元輪郭などの特性の迅速な測定に使用する；

2、半導体材料の表面粗さ、セラミック基板の反り、レーザーエッチング跡、BUMP三次元構造、MEMSデバイスのキーサイズ、TSV穴サイズ、精密機械加工部品などの分野の測定に広く応用されている。

【主なパラメータ】

すいちょくレンジ	0.1 nmから10 mm（閉ループの継ぎ目なし）
垂直解像度	0.1nm
電動サンプルテーブル移動範囲	±150 mm（XY軸）/100 mm（Z軸）、XYZ三軸自動
よこほうこうサンプリングかんかく	0.1µmから13.2µm（搭載FOV接眼レンズと干渉対物レンズの倍数で決定）
光学横方向分解能	最大350 nm
ステップ試験精度	0.75%
ステップくりかえしせい	<0.1% 1σ
傾斜調整	手動サンプルテーブル調整±6°
すいちょくそうさそくど	最速47 um/秒、ユーザー自身で設定可能
タレット調整	手動で自動的に選択可能
解析ソフトウェア機能	2次元と3次元の解析、複数領域の自動解析が可能（ターゲット領域を統計的に番号付けでき、自動的にターゲットを分析できます標識領域内の高さまたは深さ分布の状況），表面粗さを分析することができ、サンプルの表面欠陥及び段差高さを分析することができ、また、複数回の測定データを統計し、詳細な統計報告を得ることができる（平均値、分散、最小値、最大値などを含む）。プログラミング自動多点測定が可能です。提供できるデータには、高忠実度の3次元画像、2次元断面図、および大量の完全な表面粗さパラメータが含まれます。

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