中真空から超高真空までの単真空計

トリゴン™ BAG552中真空から超高真空までの単真空計

独立熱イオンゲージ技術を必要とする応用に対して、Trigon™ シリーズには、単一技術を用いたBayard-Alpert熱イオン化ゲージBAG 552が含まれている。BAG 552は圧力範囲が5×10であることに特化している-10... 2 x 10-2ミリバールのガス真空測定により設計された。デュアルフィラメントをサポートし、優れた精度、再現性、寿命を有する。BAG 552は、INFICON真空計コントローラシリーズともVGC 501、VGC 502和VGC 503組み合わせて使用する。

利点：

• 1、純粋なBayard-Alpert測定システム、超高圧と高圧測定範囲に適用する

• 2、デュアルフィラメント設計

• 3、電気的に電子機器を隔離し、浮遊電流を避ける

• 4、発射流を切り替える時に圧力ジャンプと凍結現象が発生することを避けるために、スライド発射モード

• 5、可動校正データチップ、ベーキング時間を延長

• 6、セットポイントリレー

• 7、明るい大画面OLEDディスプレイ（90°回転可能）、ユーザーインタフェース付き

• 8、アナログ出力、RS 232 Cシリアルインタフェース、EtherCAT® インターーフェース

• 9、VGC 50 xコントローラシリーズと併用可能

• 10、RoHS規範に適合する

• 一般的な用途：

• 1、半導体プロセスにおける圧力測定

• 2、工業用めっき膜

• 3、高真空から超高真空までのシステムの一般的な真空測定と制御

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