マスフローコントローラ

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概要

質量流量制御器VシリーズMFCはガス質量流量を正確に制御するための装置であり、MFCはETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMPなどの半導体前段プロセスにも応用でき、光起電エネルギー、真空めっきなどの分野にも大きな市場がある。$r$nMFCは、ガス流量の正確な制御により、より高い良率を効果的に提供することができる。

製品詳細

マスフローコントローラVシリーズMFC

マスフローコントローラVG 80シリーズMFCはガス質量流量を制御するための部品であり、以下の特徴がある1：

設計dute：「デュアルバルブ＋圧力降下＋位置センシング」のdute設計を採用する。
パフォーマンスyouyue：応答速度が速く、起動停止時間≦100 ms；測定精度が高く、±0.5%S.Pに達することができる。測定レンジは2-100%F.Sで、自己診断能力が高く、メンテナンスコストが低い。

シーンを適用するには：MFCはETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMPなどの半導体前段プロセスにも応用でき、光起電力エネルギー、真空めっきなどの分野にも大きな市場がある。MFCはガス流量の正確な制御により、より高い良率を効果的に提供することができる。

このシリーズ製品は半導体製造におけるetch（エッチング）、CVD（化学蒸着）、PVD（物理蒸着）、ALD（原子層蒸着）、MOCVD（金属有機化学蒸着）などのプロセス設備に広く応用でき、MPCVD（マイクロ波などのプラズマ化学蒸着）、解熱解凍乾燥、石英精製、医療廃棄物処理などの分野にも適用できる。

质量流量控制器

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