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Massvacフィルタ

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概要
Massvac 335025+400976真空ポンプシステムは、Demaco Vacuumの335025型4インチ正ウェル前段フィルタと互換性のあるフィルタコア(例えば400976)、およびMassvacブランドの真空ポンプを結合する。
製品詳細

Massvac 335025+400976真空ポンプ系

Massvac 335025+400976真空ポンプシステムは、Demaco Vacuumの335025型4インチ正ウェル前段フィルタと互換性のあるフィルタコア(例えば400976)、およびMassvacブランドの真空ポンプを結合する。次に、検証済みの技術仕様と互換性の見解に基づく詳細な分析を示します。

システムコンポーネントと互換性

Demaco 335025型フィルタ:

真空コーティング、半導体プロセスなどの中高真空用途向けに設計された前段フィルタ。

DN 25 KFフランジ(直径25 mm)を有し、KF 25ポートを有する真空ポンプ(例えばMassvacの螺旋駆動シリーズポンプ、例えばHD 20/HD 40)に直接接続することができる。

粒子濾過のために4インチフィルタコア(例えばポリプロピレンフィルタコア)を収容することができる。

角度バージョン設計により、真空システムにおける空間的需要を最小限に抑えることができます。

フィルタコア400976:

サードパーティ製または専用の交換部品の可能性があります(Demacoのカタログには明記されていません)。互換性を確保するには:

フィルターカートリッジの直径が4インチで、DN 25 KFフランジ接続があることを確認します。

2〜20ミクロンなどのミクロンレベルがポンプの汚染耐性と一致することを確認した。

Demacoの正ウェルフィルタは、最適な性能を実現するために工場で認可されている400925(2ミクロン)および400935(5ミクロン)などのフィルタコアをサポートしています。

Massvac真空ポンプ:

Massvacのスクリュー駆動シリーズ(HD 20、HD 40など)は、335025フィルタと直接互換性のあるKF 25出入口フランジ付きオイルシールロータポンプを含む。

これらのポンプは、低騒音でコンパクトな設計の実験室や工業用途に最適化されています。

ポンプの真空範囲(例えば限界圧力≦0.01 mbar)がフィルタの仕様と一致することを確認します。

インストールと統合

物理的接続:

フィルタとポンプの間のDN 25 KFフランジをフッ素ゴムOリングを用いて密封した。フランジクランプを均等に締め、漏れを防止する。

フィルタをポンプの下流(前段位置)に取り付け、粒子や凝縮物から保護します。

フィルターの周囲に1.5インチの隙間を空けて、メンテナンス時に集液槽を取り外す。

フィルタコアの取り付け:

400976フィルタコアを挿入する前に、フィルタハウジングをクリーニングします。フィルターのフランジをハウジングに合わせて固定します。

Demacoのフランジ締め付けトルクガイド(KF 25クランプは通常10-12 N・m)に従う。

非原工場用フィルターカートリッジを使用した場合、耐爆破圧力を確認する(標準ポリプロピレンフィルターカートリッジ≧15 psi)。

パフォーマンスとメンテナンス

フィルタ効率:

335025フィルタとDemacoの400925フィルタコアを組み合わせると、粒子汚染(例えば金属屑、プロセス残留物)を≦2ミクロンに低減し、ポンプの使用寿命を延長することができる。

腐食性または油性環境では、Massvacを使用したVISI-Trapを考慮する® インサート(ステンレス鋼メッシュ、モレキュラーシーブ)を使用して、化学的互換性を確保します。

メンテナンス計画:

フィルタ両端の差圧が15〜20'H 2 O(圧力計で測定)を超える場合、400976フィルタコアを交換する。

フィルターカートリッジを交換する際に、フィルターケースに腐食や破損がないかどうかを確認します。再使用可能な部品(ステンレススクリーンなど)をイソプロパノールで洗浄する。

Massvacポンプは、作業量に応じて500~1000時間運転するごとにオイルを交換する必要があります。

FAQの調査

ポンプ性能の低下:

フィルタ閉塞:圧力低下が増加した場合、400976フィルタカートリッジを交換してください。

漏れ:KFフランジシールとOリングを検査する。重要な用途には、ヘリウムガス漏れ検出器を使用します。

騒音/振動が大きすぎる:

中:フィルタとポンプがしっかり取り付けられ、フランジの接続がしっかりしていることを確認します。

油質の悪化:ポンプ油が黒くなったり汚染されているように見える場合は、ポンプ油を交換します。

フィルタの互換性:

400976カートリッジが非プロトプラントである場合、その耐薬品性(ポリプロピレンは酸に強いが、アセトンなどの溶媒には弱い)を検証する。

セキュリティとベストプラクティス

個人防護装備(PPE):真空部品を処理する時、特にフィルターを交換する時、手袋と安全眼鏡を着用する。

換気:ポンプの排気口にMassvacのVISI-MISTを使用する® オイルミストキャンセラ(例えば、360915フィルタ)は、オイルミストを捕捉する。

ドキュメント:

Demacoの335025型取付マニュアルを参照して、フランジトルク仕様とフィルタコア挿入手順を取得します。

Massvacのポンプマニュアルを参照して、オイルタイプの提案(ISO VG 100鉱物油など)を取得します。

提案

元工場と第三者:400976のような第三者フィルタコアが適用される可能性があるが、Demacoの400925/400935フィルタコアは検証され、最適な流量と圧力降下を実現することができる。

システムテスト:10 mbarで10分間保持するなどの真空減衰テストを行い、設置後に漏れ運転がないことを確認します。

ベンダーのサポート:Demaco VacuumまたはMassvacに直接連絡し、カスタムフィルタソリューションまたはポンプ/フィルタのペアリングガイドを取得します。

335025フィルタとMassvacポンプを統合し、400976フィルタコアの互換性を検証することで、信頼性の高い汚染制御を備えた強力な真空システムを実現することができます。保証条件と長期的なパフォーマンスを保証するために、常に元の工場の推奨事項に優先的に従ってください。