ATMから超高真空TripleGauge® ;

Trigon™ BCG 552 ATMから超高真空TripleGaugeへ®

TripleGauge® BCG 552は1つのセンサフランジに3つの真空センサ素子を集積している。この新型TrigonTMシリーズの主力製品はUHV（5 x 10-10）からATM（1500 mbar）へ。ATMセンサの追加により、BCG 552は差圧測定に使用でき、複数の用途で真空スイッチとして使用できる。サポートされているBayard-AlpertデュアルフィラメントはUHVとHVの範囲内で優れた精度、再現性、使用寿命を持っているが、マイクロ容量式ダイアフラム真空計はATMの範囲内で優れた精度を持っており、ガスタイプの影響を受けない。

利点：

• 1、3+1個のセンシング素子、測定範囲が極めて広く、コストを下げ、スペースを節約する

• 2、デュアルフィラメント設計

• 3、ガスタイプとは独立した圧力測定（10 torr以上）は、任意の混合ガスに対してより信頼性の高い荷重ロック制御を提供する。

• 4、圧力差測定は大気圧の変化に関する不確実性を解消した

• 5、自動高真空ピラニ調整によりオペレータの介入が減少

• 6、電気的に電子部品を隔離することにより、浮遊電流を避けることができる

• 7、排出流の切り替え時の圧力ジャンプと凍結現象を避けるために、排出モードをスライドさせる

• 8、セットポイントリレー

• 9、明るい大画面OLEDディスプレイ（90°回転可能）、ユーザーインタフェース付き

• 10、アナログ出力、RS 232 Cシリアルインタフェース、EtherCAT® インターーフェース

• 11、VGC 50 xコントローラシリーズと併用可能

• 12、後方互換TripleGauge® BCG450

• 13、RoHS規範に適合する

一般的な用途：

• 1、半導体プロセス、伝送及び負荷ロックチャンバにおける圧力測定

• 2、工業用めっき膜

• 3、低真空から超高真空までのシステムの一般的な真空測定と制御

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