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ATMから超高真空二重真空計

ネゴシエーション可能更新12/13
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メーカー
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概要
測定範囲要件のUHV(5 x 10-10)からATM(1000 mbar)への応用について、Trigonシリーズには、デュアル技術BPG 552真空計が含まれている。BPG 552はBayard−Alpert熱イオン化センサ素子と古典的で堅牢で信頼性の高いピラニセンサ素子からなる。サポートされているBayard-Alpertデュアルフィラメントは、精度、再現性、寿命を提供します。
製品詳細

Trigon™ BPG 552 ATMから超高真空二重真空計

測定範囲についてUHV(5 x 10-10)からATM(1000 mbar)へのアプリケーション、Trigon™ シリーズには、デュアル技術BPG 552真空計が含まれている。BPG 552はBayard−Alpert熱イオン化センサ素子と古典的で堅牢で信頼性の高いピラニセンサ素子から構成されている。サポートされているBayard-Alpertデュアルフィラメントは、精度、再現性、寿命を提供します。

VacXplorは、INFICON Trigon真空計を使用する体験を強化するためのモジュラー型ユーザーソフトウェアです。VacXplorには、統合されたインタフェース、動的データの可視化、高度なカスタマイズオプションが用意されており、管理者権限は必要ありません。

利点:

1、ダブル測定器(2個のセンシング素子)、測定範囲が広く、コストを下げ、スペースを節約する

2、Bayard-Alpertシステム用の2本のフィラメント

3、ピラニ相互ロック保護、フィラメントの早期焼失を避ける

4、自動高真空ピラニ調整、オペレータの介入を減らす

5、電気的に電子部品を隔離し、不純電流を避ける

6、排出流を切り替える時に圧力ジャンプと凍結現象が発生しないように、排出モードをスライドさせる

7、移動可能なキャリブレーションデータチップはベーキング時間を延長する

8、セットポイントリレー

9、明るい大画面OLEDディスプレイ(90°回転可能)、ユーザーインタフェース付き

10、アナログ出力、RS 232 Cシリアルインタフェース、EtherCAT® インターーフェース

11、VGC 50 xコントローラシリーズと併用可能

12、後方互換BPG 402

13、RoHS規範に適合する

一般的な用途:

  • 1、半導体プロセスにおける圧力測定

  • 2、工業用めっき膜

  • 3、低真空から超高真空範囲内のシステムの一般的な真空測定と制御超高真空範囲

ATM至超高真空双真空计ATM至超高真空双真空计