窒化アルミニウムセラミックス粉体/基板焼成炉

真空排膠（脱炭素）焼結炉

CVD蒸着炉

気相/液相シリコン浸透炉

真空タンク式排膠炉

窒化シリコンセラミックス基板焼成炉

炭化ケイ素基板（粉体）焼成炉

排膠（脱炭素）仮焼一体炉