窒化シリコンセラミックス基板焼成炉

用途：主に窒化ケイ素セラミックス基板の焼結

主な構成：

1.二層水冷炉体設計、圧力容器鋼炉殻

2.等静圧黒鉛棒を発熱体とし、抵抗加熱式

3.ガス充填システムには安全弁、圧力リレーが設置されており、信頼性が高く、安全性が高い。
4.電気制御はPLCプラスタッチスクリーン制御方式を採用する

5.炉後部に冷風機を配速し、冷却時間を短縮できる

主な技術パラメータ：

型番：ZT-450-22

1.高温：2200度

2.動作温度：2000度

3.真空度：1 Pa

4.気圧：1 MPa.

5.作業領域：600 X 600 X 1400 mm