気相/液相シリコン浸透炉

用途：

底昇式炭素管焼結炉は、底部排出原料が理想的な炭素系材料の気相、液相シリコン浸透炉である.

主な構成：

1.縦型炉体、二層炉体構造、水冷ジャケット設計。

2.炉内黒鉛炭素管発熱体、保温層、温度測定、熱電対監視などの組成。

3.出庫、装填皿は炉底に取り付けられ、モータによって駆動されて昇降し、出庫、装填が容易である。

4.PLCとタッチスクリーンの操作方式、警報機能があり、自動化プログラムが高く、安全で信頼性がある

主な技術パラメータ：

1.作業領域：Ø300 X 500 mm

2.高温：2000℃

3.動作温度：1650℃

4.限界真空度：5 X 10^-3パ

5.雰囲気窒素またはアルゴンガスの保護