CVD蒸着炉

用途：

CVD蒸着炉は炭素炭素及び炭素陶複合材料製品の焼結に用いる.

主な構成：

1.縦型炉体、二層炉体構造、水冷ジャケット設計。

2.炉内は発熱素子、保温層、測温熱電対、監視熱電対からなる

3.発熱素子は炉内壁に沿って均一に配置され、加熱に有利で、温度均一性が良い

4.PLCとタッチスクリーンの操作方式、警報機能があり、自動化プログラムが高く、安全で信頼性がある

主な技術パラメータ：

1.作業領域：Ø1500 X 2000 mm

2.高温：1550℃

3.動作温度：1400℃

3.限界真空度：20 Pa

4.加熱方式抵抗加熱

5.作動雰囲気アルゴン及び反応ガス