七星華創質量流量制御器流量計

七星華創質量流量制御器流量計

質量流量制御器と質量流量計使用マニュアル1.注意事項をご利用いただいたお客様は、当社製D 07シリーズのマスフローコントローラ/マスフローメータ製品をご購入いただき、ありがとうございました。このマニュアルでは、このシリーズを正しく安全に使用するために必要な事項を詳細に述べています。製品使用者は、必ずこのマニュアルをよく参照して理解して使用してください。使用中は、マーク付き文字と注意事項に含まれるすべての内容に注意してください。使用マニュアルに従って使用しなかったことによる財産損失や人身傷害について、当社は責任を負わない権利がある。このマニュアルは、インストール、メンテナンス、および故障修理の際に、適切に保管してください。2.用途と特徴質量流量計（Mass Flow MeterはMFMと略称する）は気体の質量流量を精密に測定するために用いられる、マスフローコントローラ（Mass Flow ControllerはMFCと略記）は、ガスのマスフローを精密に測定し、制御するために使用されます。それらは半導体マイクロエレクトロニクス工業、特殊材料の開発、化学工業、石油工業、医薬、環境保護と真空などの多種の分野の科学研究と生産において重要な応用を持っている。その典型的な応用例としては、拡散、酸化、エピタキシャル、CVD、プラズマエッチング、スパッタリング、イオン注入、及び真空めっき設備、光ファイバ溶融、マイクロ反応装置、混合気配気システム、毛細管測定、ガスクロマトグラフ及びその他の分析機器。D 07シリーズの質量流量制御器と質量流量計は精度が高く、再現性が良く、応答速度が速く、ソフト起動、安定信頼性、動作圧力範囲が広いなどの特徴があり（高圧または真空条件下で動作可能）、その操作は便利で、任意の位置に設置でき、コンピュータとの接続に便利で自動制御を実現する。D 07シリーズ質量流量制御器と質量流量計は一般的にD 08シリーズ流量表示器などの製品と組み合わせて使用され、制御器と表示器の間は専用ケーブルで接続されている

七星華創質量流量制御器流量計

3.主な技術指標1.D 07-19 B型MFC性能指標番号項目D 07-19 B 1流量規格（0 ~ 5、10、20、30、50,100,200,300,500）SCCM（0 ~ 1、2、3、5、10、20、30）SLM 2精度±1%F.S.（20、30 SLM：±2%F.S.）3線形±0.5%F.S.（20、30 SLM：±2%F.S.）4繰返し精度±0.2%F.S.5応答時間≦2 sec 6作動差範囲≦10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 最大作動圧力1 MPa 8耐圧3 MPa（435.1 psig）9作動環境温度5℃〜45℃10入出力信号0 V〜＋5.00 V（入力インピーダンス100 K以上、出力電流3 mA以下）11電源＋15 V 50 mA、-15 V 200 mA 12の外形寸法は図413重量0.95 kgを参照：質量流量計と質量流量制御器は出荷時に通常窒素（N 2）で標定される。質量流量の単位は：SCCM（標準ミリリットル/分）、SLM（標準リットル／分）の標準状態は、温度---273.15 K（0℃）、気圧：101325 Pa（760 mm Hg）は七星流量計MFC/MFM製品センターで、単位SCCMは「mL/min、0℃、1 atm」と同等、単位SLMと「L/min、0℃、1 atm」と同等である。第4ページ計28ページF.S.（Full Scale）：フルレンジ値表2.D 07-19 BM型MFM性能指標番号項目D 07-19 BM 1流量規格（0 ~ 5、10、20、30、50 100 200 300 500）SCCM（0 ~ 1、2、3、5、10、20、30）SLM 2精度±1%F.S.（20、30 SLM：±2%F.S.）3線形±0.5%F.S.（20、30 SLM：±2%F.S.）4繰返し精度±0.2%F.S.5応答時≦2 sec 6気圧低下<0.02 MPa（2.9 psid）7最大作動圧力1 MPaa 8耐圧10 MPa（1450.4 psig）9動作環境温度5℃〜45℃10出力信号0 V〜＋5.00 V（入力インピーダンス100 K以上、出力電流3 mA以下）11電源＋15 V 50 mA−15 V 50 mA 12外形寸法図413重量0.7 kg各型式製品の主な技術指標を表1と表2に示す。D 07-19 BM型はD 07-19 B型の流量測定部であり、同型のMFMとMFCの流量測定部における技術指標は同じである。4.構造と動作原理4.1構造質量流量計は流量センサ、分流器通路と流量増幅回路などの部品から構成される、質量流量計に加えて、調整バルブとPID制御回路が質量流量制御器を構成している。D 07-19 B型マスフローコントローラで、カバーを開いた後の構造を図2に示します。