七星華創質量流量制御器流量計

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概要

七星華創流量計は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-7製品は七星流量計の基礎製品であり、顧客の流量測定制御の基本的な需要を満たすことができる。

製品詳細

七星華創質量流量制御器流量計

特徴

•ゴムシール、アナログ回路のMFC

•チューブ状シャント、長寿命D 07-7は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-7製品は七星流量計の基礎製品であり、顧客の流量測定制御の基本的な需要を満たすことができる。

七星華創質量流量制御器流量計

技術仕様

番号	プロジェクト	D07-7K型型	D 07-7 Bタイプ	D 07-7 Cタイプ	D 07-7 CMタイプ
1	流量仕様	（20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0~1,2,3,5,10） SLM	（0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0~1,2,3,5,10） SLM	（0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0~1,2,3,5,10） SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM の（0~1,2,3,5,10） SLM
2	せいど	±1% F。S	±1.5% F。S	±1.5% F。S	±1.5% F。S
3	線形	±1% F。S	±1% F。S	±1% F。S	±1% F。S
4	くりかえしせいど	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	レスポンス時間	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	10秒
6	きあつこうか	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	作動差圧範囲	（0.1〜0.5）MPa	（0.1〜0.5）MPa	（0.1〜0.5）MPa	<0.01 MPa
8	おんどけいすう	ゼロ：≤±0.1% F。S./℃; スパン: ≤±0.2% F。S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	さいだいさぎょうあつりょく	1つのMPa	1つのMPa	1つのMPa	1つのMPa
10	耐圧	3のMPa	3のMPa	3のMPa	3のMPa
11	動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）
13	電源	+15 V 50 mA; -15V 200mA	+15 V 50 mA; -15V 200mA	+15 V 50 mA; -15V 200mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	外形寸法	図4参照	図4参照	図4参照	図5参照
15	重量	1.1キロ	1.1キロ	1.1キロ	0.92キロ

D 07-7は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-7製品は七星流量計の基礎製品であり、顧客の流量測定制御の基本的な需要を満たすことができる。D 07-7は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-7製品は七星流量計の基礎製品であり、顧客の流量測定制御の基本的な需要を満たすことができる。

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