熱電界放出環境走査電子顕微鏡

1、アップグレードされた新製品-環境スキャン技術の高分解能電界放出走査電子顕微鏡を用いた。

2、完備した配置

Quattro電界放出走査電子顕微鏡は、高真空の二次電子プローブ、低真空の二次電子プローブ、環境真空下の二次電子プローブ、及び後方散乱電子プローブ、及び赤外線CCDプローブ。今後の作業でユーザーが遭遇する可能性のあるすべての状況を満たすことができ、ユーザーのサンプル調製に対する要求を最小限に抑えることができる。

低真空/環境真空技術により、非導電性サンプルと/あるいは含水サンプルは導電処理を経ずに直接画像化と分析ができ、サンプル表面に電荷蓄積現象がない。

3、独特な電子光学技術の成熟したショットキー電界放出電子銃、固定式最終段絞り、60°/45°二段テーパ極靴、大作動距離精密集束技術などは、導電と非導電サンプルに対して行うことができるEDS/EBSD分析、高真空モード、低真空モード、または環境真空モードで。

安定した大束流(最大値200 nA)エネルギースペクトルの確保EBSD分析作業の迅速さと正確さ。

4、「レンズを通す”差圧真空システム設計

通常の高真空走査電子顕微鏡の試料室と鏡筒はいずれも高真空状態にあり、分析された試料は固体の導電性試料でなければならず、試料が固体と導電性でなければ、試料を処理し、試料が要求に達するようにする必要がある。しかし、研究作業中に遭遇したサンプルの中で、固体導電性サンプルはほんの一部であり、通常、非導電性固体サンプル、表面に水、油を含む固体サンプル、非固体サンプルにも遭遇します。

環境走査電子顕微鏡では、特殊な真空システム設計により、3つの領域の2つの異なるポンプを用いて真空引きにより、試料室の真空度が低下し、高真空に適応していない試料が元のまま保持できるようになる状態、走査電子顕微鏡で観察と分析を行う。

同時に、走査電子顕微鏡の鏡筒部分は依然として高真空状態にあり、電子光学系の要求を満たしている。環境走査電子顕微鏡では、試料室に水蒸気を充填することにより、水性試料と生物試料の元の状態を維持することができる。FEI／フィリップス環境走査電子顕微鏡の試料室ガス圧力は、試料中の水の平衡を達成するために10 Pa〜4000 Paの間で変化させることができ、またはサンプルの脱水、加湿試験を行った。

5、二次電子検出器

一般的な高真空走査電子顕微鏡では、E‐T二次電子検出器この検出器は低真空状態では動作しない。試料室の低真空状態で二次電子信号を検出することができるように、FEI/フィリップス社が低真空二次電子検出器を開発GSED。

GSED二次電子検出器の分解能は< 1.4 nm、通常の高真空電子顕微鏡の分解能指標と同じである。そして、GSED検出器は克服したE‐T検出器の欠点は、発光、加熱されたサンプルを観察することができることである。

6、特別なモデルケース設計284mm大型サンプルボックスは、全体を鋳造して作られ、5軸モータで全自動駆動され、ユーザーに二重保証を与える。手動操作時, xT‐電子顕微鏡制御ソフトウェアも試料台の動作を監視する,サンプル上の座標の一意性を保証する。サンプル位置及び観察条件記憶機能により、ユーザは興味のある領域の位置及び電子顕微鏡条件を記憶することができる,記憶の場所や観察条件をいつでも回復できる,ユーザーの比較分析作業を容易にする。

7、独自のシングルウィンドウおよび4ウィンドウ操作インタフェース

同時に二次電子像、後方散乱像、そして彼らの混合像、そして赤外線CCDリアルタイム監視像。

これにより、全方位の情報を得ることができます。コントロールエリアの機能使用は非常に人間的である,制御機能が近づきやすい。

8、特殊な赤外線CCDせっけい

赤外線CCDプローブ設計により、試料室の内部状況をリアルタイムで監視することができるとともに、この窓を通じて試料台の移動を制御することができるほか、このベッド空を利用して低倍写真を撮影してナビゲーションすることもできる。

9、分析型末端絞り。

一般的な低真空走査電子顕微鏡では、低真空状態では、エネルギースペクトル分析の空間分解能と分析精度が大幅に低下し、エネルギースペクトル分析の実用性がほとんど失われている。環境走査電子顕微鏡では、FEI/フィリップスは分析型最終絞りを配置し、低真空状態におけるエネルギースペクトル解析の空間分解能と解析精度を保証することができる。

10、デジタルスキャン技術

Quattro走査電子顕微鏡では,FEI/フィリップスはデジタル化された電子ビームスキャン技術を採用している,Quantを通してもaxT‐制御ソフトウェアによる電子顕微鏡の動作,それとも外部接続されたサードパーティ製分析デバイス,いずれもネットワーク構造に基づいてデジタルスキャン制御を行っている。例えば,ユーザーがQuantにいる場合aスペクトロメータシステムのインストール,スペクトロメータ社はこれをQuanta設計されたスペクトルプローブはQuattroサンプル室,これをQuattro 設計されたエネルギースペクトル解析器はQuattroネットワーク接続用に提供されるネットワークハブ,スペクトル計はQuattroのデジタルスキャナを使用して、サンプル表面での電子ビームの走査を制御します。

11、真空システム

FEI/フィリップスを用いたイオンポンプ、分子ポンプ、機械ポンプ真空システム,油汚染なし,スピードを出すのが速い。

12、ミクロ実験室

Quattro環境走査電子顕微鏡は特殊なその場試料台、例えば熱台、冷台、延伸台を取り付けることができる。‐165 °C1400 °C温度範囲内で、多種のサンプルに対してその原始状態を保持したまま動的なその場分析を行った。