Verios XHR SEM

VeriosはいFEIリードしているXHR（高解像度）SEMシリーズの第2世代製品。先端半導体製造や材料科学への応用においては、 1 終了30 kV範囲内にサブナノメートルスケールの分解能と強化されたコントラストを提供し、材料の精密測定に必要なことを満たし、同時に伝統的な走査電子顕微鏡を弱めることはない(SEM)高いスループット、分析能力、サンプルの柔軟性や使いやすさなどのメリット。

Veriosの材料科学応用

材料科学者にとって、Verios触媒粒子、ナノチューブ、細孔、界面、生体オブジェクト、その他のナノスケール構造など、現在開発中の新しい材料にサブナノメートル特性を拡張することができ、重要な新しい発見を得ることができます。導入する必要はありませんTEMまたは他のイメージング技術では、高解像度、高コントラスト画像を得ることができます。Verios様々な研究用途に柔軟に使用でき、フルサイズウエハや冶金サンプルのような大きなサンプルを収容することができる。高電流モードで高速分析を実行することも、電子ビーム誘導材料の直接堆積やリソグラフィーなどの正確なプロトタイプ設計用途を展開することもできます。

優れた低電圧SEM解像度と材料コントラスト

Verios研究所で発表可能な成果を増やすことを目的としています。Veriosを選択して、500 eVまで30 keV完全エネルギー範囲内のサブナノスケール分解能は、新規な材料（例えば、触媒粒子、ナノチューブ、細孔、界面、生体オブジェクト、その他のナノスケール構造）に拡張される。導入する必要はありませんTEMまたは他のイメージング技術では、高解像度、高コントラスト画像を得ることができます。Veriosフルサイズウエハや冶金サンプルのような大きなサンプルを収容することができる様々な研究用途に柔軟に使用することができます。高電流モードで高速分析を実行することも、電子ビーム誘導材料の直接堆積やリソグラフィーなどの正確なプロトタイプ設計用途を展開することもできます。

探索高分解能SEM現れた世界

VeriosはいFEIリードしているXHR SEMシリーズの第2世代製品は、 1 まで30 kVエネルギー範囲のサブナノスケール分解能は正確なイメージングを提供する。高スループット、分析機能、サンプルの柔軟性、伝統的なSEMの使いやすさ。Verios熱安定性を高めることができる定電力レンズや偏向線形性を高めることができる静電走査など、独自の技術を備えている。パラメータを選択したり、大きなサンプルを処理したり、分析やリソグラフィなどのより多くの応用をサポートしたりする上で、非常に柔軟です。に頼るVerios XHR SEM一時的なユーザーでも専門家でも、短時間で正確で完全なナノサイズのデータを取得でき、以前他のテクノロジーを使用していたときには得られなかった情報を発見することができます。