顕微分光膜厚計（OPTMシリーズ）

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概要

顕微分光膜厚計（OPTMシリーズ）は顕微分光法を用いて微小領域における絶対反射率による測定を行い、高精度の膜厚/光学定数分析を行うことができる。塗膜の厚さは、種々の膜、ウエハ、光学材料、多層膜などの非破壊的かつ非接触的に測定される。

製品詳細

顕微分光膜厚計（OPTMシリーズ）

ターゲット膜の**反射率を測定し、膜厚と光学定数を高精度に測定！非接触・非破壊・顕微

測定時間はわずか1秒！

OPTMシリーズは顕微分光法を用いて微小領域で**反射率により測定し、高精度の膜厚/光学定数分析を行うことができる。塗膜の厚さは、種々の膜、ウエハ、光学材料、多層膜などの非破壊的かつ非接触的に測定される。測定時間は、1秒/点の高速測定が可能であり、初めて使用するユーザでも光学定数を容易に解析できるソフトウェアを搭載している

显微分光膜厚仪（OPTM系列）

製品特徴：

ヘッドにはフィルム厚さ測定に必要な機能が集積されている

顕微分光法による高精度**反射率（多層膜厚、光学定数）の測定

1時1秒高速測定

顕微分光下の広範囲の光学系（紫外＊近赤外）

エリアセンサの安全機構

解析ウィザードが容易で、初心者でも光学定数解析が可能

独立測定ヘッドは各種inlineカスタム化ニーズに対応

さまざまなカスタマイズをサポート

測定項目：

**反射率測定

多層膜解析

光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）

適用：

半導体：ウエハサンプルの自動調整、ウエハの曲げ検出

光学部品：レンズレンズレンズの放射率、曲げ等の検出

顕微分光膜厚計（OPTMシリーズ）製品仕様型番：

	OPTM-A1 型	OPTM-A2 型	OPTM-A3 型
波長範囲	230〜800nm	360〜1100 nm	900〜1600 nm
膜厚範囲	1nm〜35μm	7nm〜49μm	16nm〜92μm
測定時間	1秒/1点
フレアサイズ(Flare Size)	10μm（***小約5μm）
感光素子	CCD		InGaAs
光源仕様	重水素ランプ+ハロゲンランプ		ハロゲンランプ
電源仕様	AC 100 V±10 V 750 VA（自動試料台仕様）
サイズ	555（W）×537（D）×568（H）mm（自動試料台仕様の本体部分）
重量	約55 kg（自動試料台仕様の本体部分）

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