真空容量圧力計

ネゴシエーション可能更新12/08

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概要

真空容量圧力計は高安定容量敏感素子を使用し、優れた耐過圧能力と優れた長期安定性を備え、光起電力、半導体及び工業市場においてプロセス制御に極めて重要な精密真空測定に適している。先進的な製造技術と技術は、応用シーンにおける再現性を保障し、本圧力計の動作電圧は24 V DCで、標準的な（0 ~ 10）V DCアナログ出力信号を持ち、フルスケール測定で、使用可能範囲は1 Torr（133 Pa）から10 Torr（1.33 kPa）である。

製品詳細

真空容量圧力計アプリ

しんくうろ

しんくうほうそう

プラズマ滅菌器

れいとうかんそう

しんくうじょうりゅう

石油化学業界

半導体業界

PECVD/ALDプロセスデバイス

プラズマエッチングプロセス装置

真空容量圧力計 主な特徴

業界標準コネクタ

高精度：標準±0.5%示度、オプション±0.25%示度

精密ダイヤフラムは優れた性能を保証する

動作温度補償範囲が広い

回路ノイズが低く、応答が速い

環境条件の変化に影響されにくい

優れた耐過圧設計

製品外形

真空电容压力计

過負荷と爆破圧力の定格値

仕様パラメータ

測定範囲	10トールA/1.33kPa。A
精度	±0.5%読書、±0.25%示度（オプション）
動作電圧	（18～24）V DC
しゅつりょくしんごう	（0〜10）V DC
動作温度	(10～50)℃
測定媒体	ガス
電気コネクタ	9 pinアナログインタフェース
プロシージャ接続	KF16
オン予熱時間	10分
シェルマテリアル	ステンンレス鋼
えきたいせっちゃくざいりょう	镍基合金

配線定義

真空电容压力计

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