サーモガス質量流量計

熱式ガス質量流量計は熱拡散原理に基づいて設計され、この計器は恒温差法を用いてガスを正確に測定する。体積が小さく、デジタル化の程度が高く、設置が便利で、測定が正確であるなどの利点がある。

　　サーモガス質量流量計ルーツガス流量計とも呼ばれ、熱拡散原理に基づいて設計され、この計器は恒温差法を用いてガスを正確に測定する。体積が小さく、デジタル化の程度が高く、設置が便利で、測定が正確であるなどの利点がある。質量流量計は比較的に正確で、高速、信頼性、高効率、安定、柔軟な流量測定計器であり、石油加工、化学工業などの分野でより広範な応用が得られ、流量測定を推進する上で巨大な潜在力を示すと信じている。質量流量計は流量を制御することができず、ガスの質量流量を検出し、電圧、電流またはシリアル通信をシミュレートして流量値を出力することしかできません。

動作原理：

　　サーモガス質量流量計恒温差原理を用いてガス流量を測定する計器である。センサ部は2つの基準段白金抵抗温度センサから構成され、メータ動作時、1つのセンサは絶えず媒体温度T 1を測定し、もう1つのセンサは媒体温度T 2よりも高い温度に自己加熱し、流体流速を感知するために使用され、速度センサと呼ばれる。この温度ΔT=T 2-T 1、T 2>T 1は、流体が流れると、ガス分子がセンサに衝突してT 2の熱を持ち去るため、T 2の温度を低下させ、ΔTを一定に保つには、T 2の給電電流を高め、ガスの流れ速度は熱が速く、持ち去る熱も多くなり、ガス流速と増加する熱は一定の関数関係にある。センサ温度は媒体（環境）温度より常に自動的に30℃程度高くなるため、熱式ガス流量計は原理的に温度補償を必要としない。