マイクロガス質量流量制御器

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概要

マイクロガス質量流量制御器は、各種の小流量ガスの測定と制御のために設計されている。このシリーズのセンサーはいずれも先進的なマイクロ電気機械システム（MEMS）流量センシングチップを用いて製作し、デジタル信号処理技術と流量制御アルゴリズムを結合し、各種類のガス流量の大きさの正確な制御とインテリジェント化処理を実現する。

製品詳細

一、製品紹介

マイクロガス質量流量制御器は、各種の小流量ガスの測定と制御のために設計されている。このシリーズのセンサーはいずれも先進的なマイクロ電気機械システム（MEMS）流量センシングチップを用いて作製し、デジタル信番号処理工技術と流量制御アルゴリズムにより、各種ガス流量の大きさの正確な制御と知能を実現する化学処理

応用分野：航空宇宙、半導体加工、医療生物、電子自動車、鉄鋼冶金、船舶電子、工業ガス製造など

業を営む。

二、製品の特徴

マイクロエレクトロメカニカルシステムの採用（MEMS）流量センサチップ、バイパス分流器と電磁比例弁を設計したもので、センシング器具は高精度で、耐干渉性が強い特徴がある、分流器のバイパス流体は層流状になっている状態を測定し、制御する制はより安定して正確である。電磁比例弁は寿命が長く、感度が高い特徴。

★ センサの零点は安定している。

★ レンジの範囲内で精度が高く、再現性が良い。

★ 応答時間が速い。

★ 標準的な機械インタフェースで、取り付けが便利です。

★ RS 485通信出力、標準MODBUS RTUプロトコル。

★ 採用LCDは瞬時流量と累積流量を表示し、明瞭で直観的、読み取り数が便利で、キー入力によってフローを制御することができます量を測定し、LCDに制御流量とリアルタイム流量値を直接表示する

★標準装備4-20 mA入出力制御。

★0-5 Vまたは0-10 V入出力制御のカスタマイズが可能
三、技術パラメータ

動作電源	DC24V/6W
精度(%)	制御精度： ±1.0%SP、測定精度0-50 L/min 1%fsが50 L/minより大きい 1.5FS%
制御と測定量きょりひ	1： 100
バルブタイプ	ノーマルクローズがた
作動温度	-10~55℃
湿度	<95%RH（結霜なし、結氷なし）
さぎょうあつりょくはんい囲む	測定：0〜1.5MPA 制御： 100 SCCM-30 SPLM圧力：0.1-1.0 MPA 100 SPLM圧力：0.1-0.65 MPA 300 SPLM圧力：0.1-0.5 MPA
典型的な制御レスポンス時間	未満1S（T90）

応答測定時間	<50mS
しゅつりょくモード	4-20 mAまたは1-5 V
通信方式	RS485 （モドバス） Rtuプロトコル）
せいぎょモード	キー操作,Modbus,4-20mA(1-5V)，カスタマイズ可能0～5 V
機械的接続	G1/4、 PT1/2型うちねじ
保護等級	IP40

メモ：上記のデータは25℃ , 101.32kPa,乾燥空気下で測定その他の機能

選択可能なスケール温度度条件	0°, 20°, 25°、ユーザー調整可能、デフォルト25°
選択可能ガス類型（かた）	空気, N2、O2、CH4、Ar、 CO2, 彼は H2 ，C3H8
さぎょうあつさ	50 SPLM 0.1MPA 〜0.7MPA 100SPLM 0.1MPA-0.6MPA 300SPLM 0.1MPA -0.4MPA

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