アクティブ防振プラットフォームSTACIS Compact Quiet Island

概要

標準的なSTACIS Quiet Islandと同様に,このコンパクトバージョンは,通常1134 kg (2,500 lbs) を超える大型楽器のために優れたサブ・ヘルツアクティブフローア振動キャンセルを提供します.

標準的なQuiet Islandは,少なくとも380mm (15インチ) の深さの高い床または穴を必要とする一方,Compact Quiet Islandは,STACIS IIIcの低プロフィールアイソレータとカスタムポケット付きプラットフォームを使用して,高い床の高さに200mm (7.86インチ) まで匹配します.

以下の画像は,標準の高さとコンパクト静かな島の高さの比較を示しています.

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Quiet Island®プラットフォームにインストールされている機器の複雑さ、感度および価値のため、注文のために標準的なカタログ番号を維持しません。各インストールはカスタムエンジニアリングソリューションであると考えています。注文の推奨手順は次のようです。

どんな機器や機器を隔離したいのか教えてください。インストールされたベースにより,既にアプリケーションの要件に応じたプラットフォーム設計を設計している可能性があります.さらに,ステッパー,アライナー,SEM,その他のツールメーカーと緊密な接触を維持し,サイズ,形状,重量の変化,床の振動仕様を最新に保っています.

床の振動データを提供するか,このデータを測定する方法を議論します.