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プロフィール

PEG 100真空計注文番号351-000現在現物あり

尊敬する新旧ユーザー:

こんにちは!

現在当社には351-000 PEG 100真空計(DN 25 KF)は現在現物がありますので、お選びください!

パフォーマンスの特長


  • 測定範囲が広い:正確な測定が可能までミリバール(までトー)の高真空圧力2

  • 頑丈で長持ちする:全金属冷陰極センサー(潘寧)を採用し、セラミック供給装置を持ち、その堅固な潘寧冷陰極センサーはフィラメント焼失の現象が現れない2

  • 革新的な電極幾何学的形状:良好な点火特性を提供し、プラズマ点火後に低下した高圧とチタン陰極板は汚染の危険を減らすことができ、アルゴンガスのスパッタリング運転中でも安定して動作することができる2

  • 部品のクリーニングと交換が容易:アノードリングとチタンカソードは簡単に洗浄または交換できる2

  • 磁場強度が小さい:真空計付近の磁場強度を最小化2

  • 指示がはっきりしている:電源投入とプラズマ点火用LEDインジケータ付き2

  • 出力信号が柔軟である:対数アナログ出力信号を備え、フィールドバスインタフェース(Profibus DP、DeviceNet)はネットワーク通信を使用して真空計を簡単に真空システムに統合することを許可する2

典型的な用途


  • 高真空圧力監視:高真空環境の圧力を正確に測定し監視する必要がある場合、例えば半導体製造、真空めっきなどの分野で重要な役割を果たす2

  • 蒸発スパッタリングシステム:スパッタリング応用環境下で動作できるため、スパッタリングシステムの蒸発によく用いられ、システムの真空度がプロセス要求に合致することを確保する2

技術パラメータ


  • 電源電圧:通常動作電圧は一定範囲内、例えば+14 Vから+30 Vの間3

  • 信号出力:対数アナログ出力信号、電圧範囲は一般的に0 Vから+10.3 Vの間3

  • 測定精度:異なる測定範囲内で対応する精度、例えば100 mbarまでの範囲、精度は示度の±15%など3

  • くりかえしかのうせい:から100 mbarの範囲で、再現性は示度の2%である3

  • しんくうせつぞく:DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、7/16-20 UNFなど、多種の真空接続方式を選択可能3