液体が一定の温度で、圧力をこの温度での気化圧力まで下げると、液体は気泡を発生する。この気泡が発生する現象をキャビテーションと呼ぶ。キャビテーション時に発生した気泡は、高圧に流れると体積が減少して破滅する。圧力上昇により気泡が液体中に消失するこの現象をキャビテーション崩壊と呼ぶ。

ポンプの運転中、その過流部分の局所領域（通常は羽根車の羽根入口の少し後のどこか）が何らかの理由で吸引液の圧力がその時の温度での液体気化圧力に低下すると、液体はそこで気化を開始し、大量の蒸気を発生し、気泡を形成し、気泡を大量に含む液体が羽根車内の高圧領域を前方に通過すると、気泡の周囲の高圧液体が気泡を急激に縮小して破裂させる。気泡の凝結破裂と同時に、液体の質点は非常に高い速度で正孔を充填し、この瞬間に非常に強い水撃作用を発生し、そして非常に高い衝撃周波数で金属表面の衝撃応力を数百から数千の大気圧に打撃し、衝撃周波数は毎秒数万回に達することができ、厳密には壁厚を破壊する。

ポンプ中で気泡と気泡破裂を発生させて過流部材を破壊する過程がポンプ中のキャビテーション過程である。ポンプにキャビテーションが発生すると、過流部品に破壊作用が生じるほか、騒音や振動が発生し、ポンプの性能が低下し、深刻な場合はポンプ中の液体が中断し、正常に動作しない。