武漢頤光ME-Lミュラー行列偏光解析器

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概要

ME-Lミュラー行列偏光解析装置一、製品紹介：1、超広いスペクトル範囲：重水素ランプとハロゲンランプ複合光源を採用

製品詳細

ME−Lミュラー行列偏光解析器

一、製品紹介：

1、超広いスペクトル範囲：重水素ランプとハロゲンランプの複合光源を採用し、スペクトルは紫外から近赤外範囲（380-1000 nm）をカバーし、200-1650 nmまでの拡張を支持する

2、二回転補償器変調：高精度回転とトリガ同期制御、高速スペクトルデータ収集を実現する

3、全ミュラー行列測定：二回転補償器配置に基づいて、ミュラー行列の16要素を一度に取得でき、従来のスペクトル偏光解析器に比べてより豊富で全面的な測定情報を取得できる

4、スーパー消色差補償設計：特許補償器技術は、深紫外から近赤外までの広いスペクトル範囲内の高精度位相変調要求に適応する

5、豊富な材料データベースとアルゴリズムモデル：数百種類の材料データベース、多種のアルゴリズムモデルライブラリ、現在の光学材料の大部分をカバー

6、ガイド式インタラクティブインタフェース：ソフトウェアガイドインタラクティブヒューマンインタフェース操作は、ユーザーに良質な操作体験を提供する

7、ナノ格子の分析能力：先進的な分析アルゴリズムモデルは各種ナノ格子の構造周期、線幅、線高、側壁角、粗さなどの幾何形状情報抽出を実現する

二、技術パラメータ：

基本機能	ミュラー行列、Psi/Delta、N/C/S、R/Tなどのスペクトルを一括取得
スペクトル範囲	380～1000 nm（210～650 nmオプション）
測定時間	1-8s
入射角範囲	45-90°
スポットサイズ	2-3mm/200um
繰返し精度	0.005 nm（100 nmSiO 2シリコンウェハ）
ぜったいせいど（空気媒体）	偏光解析パラメータ：ψ＝45±0.05°Δ＝0±0.01°
ぜったいせいど（空気媒体）	ミュラー行列：対角元素m=1±0.005非対角元素m=0±0.005
解析ソフトウェア	ユーザーのカスタマイズをサポートする数百種類の光学材料ライブラリ
解析ソフトウェア	多層等方性/異方性光学フィルム、周期性格子構造モデリングシミュレーションと分析機能

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