WZHシリーズ高温プローブ台

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概要

製品概要：WZHシリーズ高温プローブ台システムは：光学イメージング部分、全体昇降台座、高精度プローブ台、温度制御システム、真空吸着システムなどを含む、高温環境下で測定されたサンプルの電気性能試験分析、例えば：半導体/マイクロエレクトロニクス、電子、電気機械、物理、化学、材料、光電、ナノメートル、マイクロ電気/MEMS、バイオチップ、航空宇宙などの科学研究分野、及びIC設計/製造/測定/パッケージ、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPCなどの生産製造分野に応用できる。高性能な高性能プローブ台です。

製品詳細

製品情報：
プローブステーションは主に半導体業界、光電業界、集積回路、パッケージのテストに応用されている。複雑で高速なデバイスの精密電気測定の研究開発に広く応用され、品質と信頼性を確保し、研究開発時間とデバイス製造プロセスのコストを削減することを目的としている。

創スペクトル計器が開発した高価格比手動プローブ台は、集積回路、三極管、ダイオード及び光検出器のIV/CVパラメータなどの性能試験と特性評価は、光電科学研究に不可欠な基本設備である。

WZHシリーズ高温プローブ台システムは以下を含む：光学イメージング部分、全体昇降台座、高精度プローブ台、温度制御システム、真空吸着システムなど、高温環境下で測定された試料の電気的特性試験分析、例えば：半導体/マイクロエレクトロン、電子、電気機械、物理、化学、材料、光電、ナノ、マイクロ電気機械電気/MEMS、バイオチップ、航空宇宙などの科学研究分野、およびICせっけい/製造/テスト/カプセル化、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPCなどの生産製造分野がある。高性能な高性能プローブ台です。

製品特徴：
★試験可能Waferサイズ：2インチ-4インチ（さらに大きなサイズアップも可能）

★プローブホルダーとサンプル全体の変位は、お客様がサンプルに対して同期光電テストを行うのに非常に便利である

★リーク電流精度：100fA、最高到達可能10fA

★精密ネジ/ダブテール駆動構造、線形移動、精密変位、バックホール差のない設計

★高等学校への応用/研究所/企業ラボでの使用

★1マイクロメートル以上の電極/PAD使用

★モジュール化設計で、応用に応じてモジュールを追加、除去することができる

★輸入温度制御システムを採用し、優れた温度安定性と温度制御均一性

アプリケーション：
◆LD/LED/PDの強度/波長試験（我が社の光電機器を集積）

◆材料/デバイスのIV/CVとうとくせいぶんせきしけん

◆ウエハ解析試験

技術パラメータの選択：

仕様/パラメータ
モデル		WZH-4
外形寸法（LWH）		600mm×600mm×450mm
電力需要		220VC,50-60HZ
サンプルテーブル	寸法すんぽう	4インチ（円形/四角形）でより大きな見本台をカスタマイズ可能
	ストローク	XY軸ストローク50 mm、Z軸ストローク60 mm（回転機能を追加可能）
	移動精度	XY軸全体1μm、Z軸10μm
	バック電極試験機能	引き出し可能電極
	しんくうきゅうちゃく	輸入無油真空ポンプ、7 L/minを組み合わせて
	モジュールのカスタマイズ	カスタム変位可能ストロークと精度
温度制御システム	温度制御範囲	常温-300℃（常温-27 K）
	温度制御精度	±0.1℃
	おんどあんていせい	±1℃
	温度制御均一性	±3℃
プローブ調整台	MXYZストローク	13mm-13mm-13mm
	機械精度	1μm
	漏電精度	100fA/10fA
	インストール方法	可変磁力吸着/真空吸着
	インタフェース形式	三同軸（Triax）
光学イメージング	拡大倍率	7～200倍（最大720倍にアップグレード可能）
	CCD画素	2000W
	ちゅうしんきょり	140mm，昇降範囲270 mm、総高さ350 mm
	ディスプレイ	12インチディスプレイ、3-17 mmのサンプルを画面全体に拡大（大型顕微鏡をアップグレード可能）
オプションの添付ファイル		メッキチャック	積分球テストオプション	しゃへいばこ
		防振スタンド	ライトブラケットをインポートするには	波長単色可変光ファイバ光源（測光電流）
		顕微鏡調整手動/電動調整装置	レーザ切断顕微鏡	アダプタ継手金具
創スペクトル機器は顧客の応用に応じてプローブ台を構築し、より良いの使用効果と性価比

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