サーモガス質量流量計

サーモガス質量流量計
一、動作原理：
μf感熱式チップ技術は大規模集積抵抗を採用する仕事であり、センサの高さ*を保証し、現在の伝統的な熱式質量流量計はそのセンサの抵抗値*性を保証できず、センサの各発見方向の熱伝導速度の差を招いたため、伝統的な熱式質量流量計はセンサの校正と使用過程において製品の安定性に問題があり、実際の応用における熱式質量流量計は高価で、大規模な応用は比較的難しい問題を解決した。μf乾熱式チップの消費電力は通常の熱式質量流量計より大きく小さく、同僚は信頼性、安定性、安全性がより良い。
チップ上には、1つの微熱源とそれぞれ微熱源の上下流にある温度センサがMEMSの*プロセスを用いて作製された透かし彫り橋面に集積されている。このようなブリッジ方式を用いて熱センサを作製することは、動的応答時間を大幅に向上させるのに有利である。振動センサの動作時、微熱源と環境温度の間に一定の温度差を維持し、チップの周囲に固定の温度場分布を形成する。

サーモガス質量流量計
二、製品特徴：
1、製品の集積度が高く、瞬間流量表示、累積流量表示と信号出力を一体化し、自動調節、バルブ制御、二次計器表示を必要としないことを実現できる。
2、μfマイクロ流量感熱式センサは大規模集積回路生産技術と新材料加工技術を採用し、流量計のマイクロ流量測定感度を著しく向上させた。
3、微小流量ガス測定、sccm（ml/min）級の次元流量測定制御、微小流量測定のデジタル化を実現する。
単一チップの流量特性のマイクロ処理技術により、流量計のレンジ範囲が大幅に向上した。
4、機電一体化最適化設計、インテリジェント化されたデータ処理技術は、流量計により良い繰り返し性を持たせ、計量の正確、信頼性を実現した。

5、構造の最適化、MFM流量計の圧力損失がzui小化に達する。
6、採用したMFセンシング技術は、流量計の仕事をより安定し、信頼できるようにする。
7、＊0点セルフ校正機能、測定がより正確である。
8、多種の気体は実際に標定し、全距離補償する。
9、快速応答、デジタル自動記憶、上位機と協力してネットワーク集中管理を実現することができる。
10、規格がそろっており、測定範囲が広く、ユーザーの要求に応じて単独で標定することができる。
11、精度等級が高く、ユーザーの高精度測定要求を満たす。
12、*の流量計警報機能により、監視をより信頼性を高める。
13、操作、設置インターフェースは友好的で、簡便で、必要に応じて自分で関連パラメータを設定することができる。
14、運用業界が多く、科学研究院所、分析計器業界、半導体業界、光起電力業界、ガラスめっき膜、ルームメート化工業業界の微小ガス流量制御製品をアップグレードさせた*。