万級静電気防止クリーンハウス

ネゴシエーション可能更新04/24

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概要

世界各国には独自の規格があるが、一般的には米連邦政府が公布した基準【FederalStandard（FS）209 E、1992】に基づいて、クリーンルームを6段階に分けることができる

製品詳細

世界各国には独自の規格があるが、一般的には米連邦政府が公布した基準【Federal Standard（FS）209 E、1992】に基づいて、クリーンルームを6段階に分けることができる。それぞれ1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級であり、クリーンルームの等級を塵粒数だけで述べると、塵粒のサイズは0.5μmであると仮定することができ、例えば、1級、10級、100級クリーンルームの最大塵粒数はそれぞれ1粒、10粒、100粒以下であり、塵粒のサイズが0.5μmでなければ、クリーンルームの等級は特定の塵粒のサイズの級数で表すべきである。例えば：10級は0.2μm（塵粒サイズは0.2μm以上、密度は75粒/立方フィート以下）、1級は0.1μm（塵粒サイズは0.1μm以上、密度は35粒/立方フィート以下）である。

1.空気流速度とその均一性の検出。この検出はクリーンルーム効果の他の各検出の前提であり、この検出の目的は一方向流クリーンルーム作業領域の平均空気流束とその均一性を明確にすることである。

2.システムまたは部屋の風量検出。

3.室内清浄度の測定。クリーン度の検出は、クリーン環境が達成できる空気清浄度レベルを決定するために、粒子カウンタ検出を採用することができる。

4.自浄時間の検出。自浄時間を決定することにより、清浄室内部に汚染が発生した場合に元の清浄度を回復する能力を明らかにした。

5.気流流型検出。

6.ノイズの検出。

7.照度の検出。照度検出の目的は、クリーンルームの照度レベルと照度の均一性を判別することである。

8.振動の検出。振動検出の目的は、クリーンルームがそれぞれ示す振動幅を明らかにすることである。

9.温湿度の検出。温度、湿度検出の目的は温度、湿度を一定の限度内に調整する能力である。その内容はクリーンルームの送風温度を検出し、代表的な測定点のある空気温度を検出し、クリーンルームの中心点の空気温度を検出し、敏感素子における空気度を検出し、室内空気の相対温度を検出し、回風温度を検出することを含む。

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