炭化ケイ素単結晶顕微鏡PZ−THG

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製品概要炭化ケイ素単結晶研究顕微鏡PZ-THGによく用いられるのは主に偏光顕微鏡と体視顕微鏡である

製品詳細

製品の概要

炭化ケイ素単結晶研究顕微鏡PZ−THGでよく使われるのは主に偏光顕微鏡と体視顕微鏡である。偏光顕微鏡は炭化ケイ素単結晶欠陥の顕微鏡分析に用いることができる。体視顕微鏡は昇華法で成長させたSiC単結晶を観察することができ、試料の腐食前後に観察された微小管の数も炭化ケイ素単結晶のマクロ欠陥を顕微鏡観察することができる。

仕様パラメータ

シーケンス番号	製品名/モデル	技術パラメータ
1	たい視顕微鏡/XT-13C	倍率:8.0 X-80 X微小管数の観察及びマクロけっかん
2	へんこうけんびきょう/XP-63C	倍率:40X-600X炭化ケイ素単結晶用マイクロチューブけっかんびしょうかいせき
3	HDデジタルカメラ/PZ-800M3G	800万画素で2次元測定機能
オプション計器
1	じどうせいみつせつだんき	切断速度0.1-5 mm/sの正確な調整が可能で、切断精度は0.01 mmに達することができます
2	自動精密研磨機	研磨研磨≦Ø142 mmのウエハまたは対角線長≦142 mmの矩形平面度：20 mm×20 mm当たり0.002 mm未満
3	切断研磨補助材料

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