SPARC スペクトラル

AMOLF Albert PolmanグループはARC（angle-resolved cathodoluminescence）技術を革新的に開発したため、2014年MRS大賞を受賞した。後にこの技術はオランダのデルミック社によって再設計され商用化され、SPARCと命名された。

SPARCシステムは高性能陰極発光収集・検出システムである。このシステムのユニークな点は、その使いやすさと互換性にあり、どのSEMにもロードできることです。唯一無二の高精度鏡面による超高感度と使いやすさにより陰極発光応用を新たなレベルに高めた。

SPARCも世界唯一の角度分解モードを有する陰極発光検出システムであり、高速、高感度検出ナノスケールの光学特性と材料特徴を実現でき、主にナノ光学、材料科学と地質学研究に応用される。SPARCは、ナノフォトニクス、表面等のエキソゲン、太陽電池、ナノアンテナなどの新しい高次応用を開発した。

ハイエンド研究

サンプル特性の包括的な特性評価

SPARCはナノスケールのスペクトル情報を研究する理想的なプラットフォームである。システムをSEMに統合して搭載することで、陰極発光イメージングを容易に実現でき、EBSD電子後方散乱回折、EBIC、BSDなどのSEMの他の検出結果との完全な関連、サンプルの完全な特性化、詳細な情報の取得ができます。

SEMとのシームレスな統合

システムはSEMが提供する真空ポートに干渉せずに取り付けられ、内部収集ミラーは電動で後退することができる。電子顕微鏡を元の状態に戻すのは非常に簡単で簡単で、ソフトウェアを操作して、放物鏡のロールバック機能をクリックするだけでいいです。プロセス全体を5分未満で完全に元の状態に戻すことができます。

半放物鏡の自動フォールバックのデモ

イメージングモード

高速光強度スキャン

高速アナログ量光電子増倍管PMT検出は、大規模な高速イメージングに使用できる。大面積サンプルの迅速な検出には、地質分野の応用、超高速デバイスの研究、関心のある領域の迅速な位置決めに非常に適している。フィルタホイールを内蔵し、必要に応じてスペクトルを構成し、フィルタリングすることができます。

角度分解解析スペクトルイメージング

SPARCは非常にユニークな角度分解解析画像を提供する。光ファイバや狭い開口部を介した従来の結合光とは異なり、大面積半放物ミラーはイメージングカメラに直接結合反射し、光子収集効率を大幅に向上させる。特に、システムは光の放射方向性を検出することもでき、瞬間スペクトルとも呼ばれることが多い。このモードでは、フィルタホイール上の特定のフィルタを使用して、必要な波長を選択するように調整します。

高スペクトル像

SPARCシステムがスペクトルモードで動作しているとき、反射鏡から送られてきた光は格子またはチャイニーズ・ターナー撮像器で結像される。異なる撮像検出器は、200 nm〜1600 nmのスペクトル範囲をカバーすることができる。サンプル全体を電子ビームで走査することで、高空間分解能のスペクトル画像を得ることができる。

陰極発光偏光画像

角度分解モードで偏光板または偏光計を使用すると、SPARCシステムは異なる発光角度の光を極性状態に再構成することができる。先進的な光学系自動較正には半放物反射鏡のアライメントを含む検査があり、極性状態再構成にとって最も重要な一環である。SPARCは完全なシステム自動較正機能を提供する。

フレンドリーなユーザー・インタラクション

Odemisソフトウェア

モジュール化された設計にオープンソースのODEMISソフトウェアを組み合わせることで、幅広いユーザー・タイプに対応するためのフレンドリーな相互作用ソリューションを提供します。私たちはシステム化ソリューションを提供し、本当に応用ニーズに基づいてカスタマイズされた独特なシステムを実現し、科学者の異なるニーズを十分に満たす。

ソフトウェアの特徴

画像の自動ピーク較正、即時極性製図、画像のあちこちとドリフト補正などの強力なソフトウェア機能により、画像収集の効率と品質が向上します。オープンソースプログラムはPython言語を使用して作成され、専門家ユーザーは独自の画像アルゴリズムとハードウェア制御を完全にカスタマイズするために独自の2次開発を行うことができます。