デジタルガス質量流量計リアルタイム監視データ

一、基本測定パラメータ

測定媒体：測定を支持する気体のタイプ、例えば空気、窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素など、一部の型番は混合気体を測定することができる（事前に校正する必要がある）。

そくていはんい：有効に測定できる流量区間を指し、通常質量流量単位（例えば0.1 ~ 100 g/h、1 ~ 1000 L/min）で表し、レンジ比（最大流量/最小流量）は10：1から100：1までさらに高くなることができる。

精度レベル：測定の正確性を測定する指標、よく「±X%FS（フルレンジ）」或いは「±X%RD（示度）」と表現され、例えば±1%FS、±0.5%RD+0.2%FS、高精度モデルは±0.2%RDに達することができる。

くりかえしせい：複数回測定の一致性は、通常±0.1%～±0.5%RDであり、再現性が良いほど、データの安定性が高い。

二、環境と作業条件パラメータ

作動温度：

媒体温度：すなわち測定ガスの温度範囲は、一般に−20℃〜80℃であり、一部の高温モデルは150℃以上になることができる。

環境温度：流量計自体が動作する環境温度は、通常-10℃~ 60℃であり、範囲を超えると精度に影響する可能性がある。

さぎょうあつりょく：設備が耐えられるガス圧力範囲は、よく0 ~ 1 MPa、0 ~ 2 MPa、高圧型式は10 MPa以上に達することができ、配管システムの圧力と整合する必要がある。

湿度と保護レベル：環境湿度適応範囲（例えば0 ~ 95%RH、凝縮なし）、保護等級（例えばIP 65、粉塵防止と低圧噴水）。

三、出力と表示パラメータ

コンテンツの表示：瞬時流量（単位：g/s、L/minなど）、累積流量（単位：kg、m³など）、媒体温度、圧力などを含むデジタルディスプレイでリアルタイムに表示できるパラメータ。

しゅつりょくしんごう：

アナログ出力：4 ~ 20 mA、0 ~ 5 V、0 ~ 10 Vなど、PLC、DCSなどのシステムと接続するために使用される。

デジタル出力：RS 485（Modbus-RTUプロトコル）、RS232、パルス信号（累積流量に対応）など、データ通信と遠隔監視をサポートする。

レスポンス時間：流量変化後、出力信号が安定する時間は、通常100 ms ~ 1 sであり、高速応答モデルは50 ms以内になることができる。

四、その他のパラメータ

電力供給電源：一般的なDC 24 V、AC 220 Vまたはバッテリの電力供給を一部サポート（携帯シーンに適している）。

取り付け方法：パイプ式（フランジ、ねじ接続）、挿入式（大管径に適用）、パネル式など、パイプサイズ（DN 10 ~ DN 2000など）に合わせる必要がある。

材質：センサー接触媒体部分の材質、例えばステンレス鋼（304/316）、アルミニウム合金、ポリテトラフルオロエチレン（耐食性シーン）など。

二、二種類の主流熱式測定構造

ホットワイヤ式（恒温差法）

基準ワイヤはリアルタイムでガスの温度を監視する（T₀）、

加熱ワイヤは電流によってガスとの**一定温度差（ΔT＝Tₕ−T₀、Tₕは加熱ワイヤ温度）を維持し、

ガス流量が増大すると、持ち去る熱量が増加し、加熱電流を増大させなければΔTを維持できない、

加熱電流の変化量を測定すると、ガス質量流量に換算することができる（電流と流量は比例関係にある）。

構造：ガス流路に2本のホットワイヤ（通常は白金ワイヤ）を取り付け、1本をヒータフィラメント（一定の高温を維持）、もう1本は基準線（感知ガス温度）。

作業プロセス：

熱膜への塗布ていでんりょくの電流を流し、一定の温度を維持させる、

ガスが流れる時に熱を持ち帰り、熱膜温度の低下を招き、温度変化量は流量と関係がある、

熱膜の温度変化（または抵抗変化、金属抵抗による温度変化）を測定することにより、流量の大きさを計算する。

構造：加熱素子としてニッケルクロム合金などの金属薄膜を用い、セラミックス基板上に堆積し、加熱と温度測定機能を兼ね備える。

作業プロセス：

三、重要な優勢と技術要点

直接質量流量を測定する：体積流量計のように温度、圧力補償を行う必要がなく、直接質量流量（単位：kg/h、g/sなど）を出力し、精度が高い。

ワイドレンジ比：熱式原理の線形特性のおかげで、距離比は100：1に達することができ、微小流量（例えばmL/min級）から中大型流量（例えばm³/h級）までカバーすることができる。

ガスタイプへの適合性：異なるガスの熱物性パラメータ（例えば比熱容量）を校正することにより、多種のガス（空気、窒素、酸素など）を測定でき、一部の型番は混合ガスのカスタム校正を支持する。

応答速度が速い：熱フィラメント/熱膜の熱慣性は小さく、流量変動に対する応答時間は通常ミリ秒級であり、動的流量測定に適している。

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