プラズマエミッションクロマトグラフィー

LX-3200 PEDプラズマ発光クロマトグラフィーは超高感度のプラズマ発光検出器を備え、ガスサンプルが石英管を通過する際に高圧発生器によってイオン化され、光信号が発生し、フィルタは波長に応じて光信号を選択的にフィルタし、フォトダイオードを介して電気信号に変換し、信号電圧発生器を介して信号を分析に必要な程度に増幅し、検出pptからパーセンテージの検出範囲を満たす。

• ひょうじゅんかいせき

空間分割（ASU）業界

• 高純度O 2、N 2、Ar中不純物（H 2/O 2/N 2/Ar/CH 4/CO/CO 2）分析、
• 液O 2、液Air及び空分吸風口中の危険物質（C 2 H 2、N 2 O、THC、C 1−C 4）分析、
• 希ガスHe、Ne、Kr、Xe中の不純物（N 2/O 2+Ar/H 2/CO/CO 2/CH 4/Kr/Xe/N 2 O/C 2 F 6/CF 4/SF 6）分析。

特殊ガス、電子ガス業界

• 特気中の不純物（H 2/N 2/O 2+Ar/CO/CO 2/CH 4）分析、
• 腐食性ガス：Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2等不純物分析、
• ハロゲン化物：C 3 F 8、C 4 F 8、SF 6、CF 4、C 2 F 6、CHI 2 CI 3、CH 2 CHCl、SiCl 4などの不純物分析、
• CO 2、NH 3、H 2などの不純物分析。

• プラズマ放出検出器（PED）の動作原理
• プラズマ放出検出器は非常に感度の高い汎用型検出器であり、内部には高周波高圧電界を印加する独特な設計の石英キャビティがある。ガス試料が石英キャビティを通過すると高圧発生器によってイオン化され、電界ルミネセンスと呼ばれる蛍光現象が発生し、特徴的なスペクトル線が放出され、放出スペクトル線はキャリアガス中の異なる物質によって変化し、この光放出技術を用いて試料を定量分析した。
• 検出器によって生成された光信号は光学系によって検出され、光学系はフィルタとフォトダイオードを含み、フィルタは波長に基づいて光信号を選択的にフィルタし、フォトダイオードを介して電気信号に変換し、信号電圧発生器を介して信号を分析に必要な程度に増幅する。
• プラズマ放出検出器（PED）検出限界：