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メール
info@coremorrow.com
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電話番号
17051647888
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アドレス
黒竜江省ハルビン市南岡区学府路191号創業孵化産業園I 2棟1階
ハルビンコア明日科学技術有限会社
概要
P 63.X 18 Z 8 S P 63.X 18 Z 8 K圧電ナノポジショニングテーブル製品特徴：X軸ストローク18μm/軸、開閉リングオプション、Z方向ストローク、開閉リングオプション、真空バージョンオプション
製品詳細
P 63.X 18 Z 8 S P 63.X 18 Z 8 K圧電ナノポジショニングステーション 製品の特徴
X軸ストローク18μm/軸
オン/クローズループオプション
Z方向ストローク8μm
オン/クローズループオプション
真空バージョンオプション
技術パラメータ：
モデル |
S-閉ループ K-開環 |
P63.X18Z8S |
P63.X18Z8K型 |
単位 |
うんどうじゆうど |
X、Z |
X、Z |
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くどうせいぎょ |
2ウェイ駆動、2ウェイセンシング |
2ウェイドライブ |
||
公称ストローク範囲（0 ~+120 V） |
X:16、Z:6 |
X:16、Z:6 |
μm±10% |
|
Max.ストローク範囲（0 ~+150 V） |
X:18、Z:8 |
X:18、Z:8 |
μm±10% |
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センサタイプ |
SGS の |
- |
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閉ループ解像度 |
X0.6 Z0.2 |
X0.2 Z0.1 |
nm |
|
へいループ線形度 |
X:0.3、Z:1 |
- |
%F。S。 |
|
閉ループ繰り返し位置決め精度 |
0.25 |
- |
%F。S。 |
|
ピッチ/ヨー/ロール |
≤15 |
≤15 |
μrad |
|
むふかきょうしんしゅうはすう |
X2/Z1型 |
X2/Z1型 |
KHz±20% |
|
閉ループ空荷重ステップ時間 |
8 |
0.5 |
ms±20％ |
|
しじのうりょく |
0.5 |
0.5 |
キログラム |
|
せいでんようりょう |
X:1.8、Z0.8 |
X:1.8、Z0.8 |
μF±20% |
|
動作温度範囲 |
-20~80 |
-20~80 |
温度 |
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材質 |
アルミニウム |
アルミニウム |
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しゅつせんちょう |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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P 63.X 18 Z 8 S P 63.X 18 Z 8 K圧電ナノポジショニングステーションサイズ図
