科晶真空回転塗膜機

科晶真空回転塗膜機VTC-100PA製品の概要：

VTC−100 PA真空回転塗膜機は、半導体、結晶、光ディスク、製版などの表面塗布プロセスに適している。本機は強酸、強アルカリ性コーティング溶液の塗膜製造に用いることができる。

主な特徴：

• 真空吸着方式で試料を固定し、操作が簡便である。
• 位置決めツールを使用すると、偏心による振動やフライシートを減らすために、試料を容易に中心位置に置くことができます。
• 試料の仕様によって異なる吸盤を使用でき、交換が簡単です。
• 12組のプログラムが設けられ、各グループには6つの実行段階が含まれている。
• モーターの起動は急速に安定し、コーティング厚さの一致性と均一性を保証することができる。
• 50 W/24 V直流モータ
• Arガス環境での動作に適している（真空ポンプはグローブボックスの外に配置）

科晶真空回転塗膜機VTC-100PAパラメータ：

• モータ出力：50 W/24 V
• 速度範囲：500～10000 rpm
• プログラム実行：12組のプログラムを保存でき、各プログラムは6つの実行段階を含む
• 増減率設定範囲：100 rpm/s-2000 rpm/s
• 時間範囲：0-60 s
• 吸盤：Φ19 mm、Φ60 mm

くうきいりぐち：上部カバーには直径6 mmの吸気口があり、必要なガスをキャビティに通すことができ、雰囲気環境下での回転コーティングを実現することができる

オプションの加熱部：上部カバー内部に赤外線ランプの加熱を増加させ、K型熱偶数測温、デジタル温度制御器を用いて温度を制御し、*高さ120℃で、サンプル塗布後にその場で乾燥させ、薄膜太陽電池などの研究に用いることができる。

製品仕様：

• サイズ：450 mm×280 mm×340 mm、
• 重量：20 kg