科晶五ターゲットプラズマRFマグネトロンスパッタリング装置

科晶ごターゲットヘッドプラズマRFマグネトロンスパッタリング装置

型番：VTC-5RF

製品の概要：

VTC-5 RFは5ターゲットヘッドのプラズマ無線周波数マグネトロンスパッタリング装置であり、高フラックスMGI（材料ゲノム計画）薄膜に対する研究である。特に固体電解質材料の探索に適しており、5種類の元素を通じて、16種類の異なる配合比で組み合わせられる。

主な特徴：

• スパッタリングターゲットと電源をオプションで組み合わせて、具体的には当社の販売部に電話してください。
• 使用する電源（DCまたはRF）に応じて、金属または非金属材料を堆積することができる。
• 1つの回転スイッチはスパッタリングヘッドを順次活性化することができ、真空度に影響を与えずに真空またはプラズマ環境で自動的に切り替えることができる。
• 5種類の異なる材料のターゲットを取り付けることができ、各ターゲットは異なる成分の薄膜を成長させるためにスパッタ時間電力などのパラメータを個別に設定することができる。
• 複数の無線周波数電源を選択し、同時に複数のターゲットをスパッタリングすることができる。
• デバイス制御ソフトウェアをオプションで配置し、スパッタリングのすべてのパラメータをコンピュータで制御することができます。

スパッタ空洞：

• 真空キャビティは304ステンレス鋼で作られている
• キャビティ内部寸法：470 mmL×445 mmD×522 mmH（105 L）
• 直径Φ380 mmのヒンジ式キャビティドアで、Φ150 mmのガラス窓が取り付けられている

スパッタヘッド&サンプルテーブル：

• 1インチマグネトロンスパッタリングヘッド×5、水冷メザニン
• スパッタチャンバ内に電動フラップが取り付けられている
• スパッタ距離：スパッタ距離調整可能
• スパッタ角度：スパッタ角度調整可能
• 実験時には、ターゲットとターゲットの銅ガスケットを導電性銀ペーストで接着する必要があり、（当社で導電性銀ペーストを購入可能）
• 代替としてRF接続ケーブルを個別に注文することができます
• 設備にはターゲット冷却用の水冷機が必要である

サンプルテーブル：

• 直径150 mmの試料台は、上に10 mmの穴が開いた回転台を覆っており、1つの試料が露出するたびにスパッタを受けて膜を形成している。
• 試料台の寸法：Φ150 mm、プログラム制御により回転でき、16種類の異なる成分の薄膜を作ることができる
• 試料台は加熱することができ、zui600℃までの高温（構成により変動する場合がありますので、詳しくは販売部にお問い合わせください）

しんくうシステム：

• KF 40が取り付けられた真空ポート
• 真空度：4.0 e-5 Torr（分子ポンプ）（参考値、具体的にはクリックしてください）
• 当社で各種真空ポンプを選択購入することができる

吸気：

• 設備には1/4インチ吸気口を備えており、ガスボンベを接続するのに便利である
• 設備の前面パネルに空気流調整つまみが設置され、空気流を調整するのに便利である

ターゲット材：

• 要求ターゲット寸法：直径25 mm、zui大厚3 mm
• 当社で各種ターゲットを選択購入することができます

科晶ごターゲットヘッドプラズマRFマグネトロンスパッタリング装置

型番：VTC-5RF

フィルムあつさ計（オプション）：当社で購入した薄膜厚測定器をスパッタ装置に搭載することができる

正味重量：60 Kg（ポンプを除く）

品質認定：CE認証

使用上のヒント：

• この設備はDIY設備で、パラメータの変化が大きいので購入する前に必ず電話でよく連絡してください
• 良好な薄膜品質を得るためには、高純度ガスを注入する必要がある（推奨>5 N）
• スパッタリングめっき前に、スパッタリングヘッド、ターゲット、基板、サンプルテーブルの清浄化を確保する
• 薄膜と基板の良好な結合を達成するには、スパッタリング前に基板表面を洗浄してください
• 超音波洗浄（詳細パラメータは次の画像をクリック）：（1）アセトン超音波（2）イソプロパノール超音波−油脂除去（3）窒素を吹いて乾燥（4）真空オーブンで水分を除去する。
• プラズマ洗浄（詳細パラメータは次の画像をクリック）：表面粗化ができ、表面化学結合を活性化でき、追加の汚染物質を除去できる。
• Gr、Ti、Mo、Taなどの薄いバッファ層（5ナノメートル前後）を作製し、金属と合金の接着力を改善するために応用することができる。

警告：

• 注意：製品内部には高圧部品が取り付けられており、無断での着脱、帯電して機体を移動することは禁止されている。
• ガスボンベに減圧弁（設備標準装備は含まない）を取り付け、ガスの出力圧力を0.02メガパスカルに制限することを保証する以下、安全に使用します。
• スパッタヘッドは高電圧に接続されている。安全のために、オペレータは装置を閉じる前にターゲットを取り付け、交換しなければならない