米国KRIホールイオン源eH 1000

ネゴシエーション可能更新07/20

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概要

上海伯東が米国のカウフマン博士を代理して設立したカウフマン社KRIホールイオン源eH 1000の高効率ガス利用は、低コスト設計で高イオン電流を提供し、特に中型真空システムに適している。グリッドレスイオン源に属する.イオン補助めっき膜、予備洗浄、低エネルギーイオンエッチングに一般的に使用する.サイズ：直径＝5.7高＝5.5放電電圧／電流：50-300 V／10 A操作ガス：Ar，Xe，Kr，O 2，N 2，有機前駆体

製品詳細

米国KRIホールイオン源eH 1000製品の特性：

伯東KRIホールイオン源eH 1000プロパティ:

1.取り外し可能アノードアセンブリ-メンテナンスが容易;メンテナンス時,ダウンタイムを最小限に抑える;プラグアンドプレイ用予備アノード

2.ワイドビーム高放電電流-高電流密度;きんいつエッチングりつ;エッチング効率が高い;高イオン補助めっき膜IAD効率性

3.多目的-適用Load lock /超高真空システム;インストールが容易;水冷は不要

4.効率的なプラズマ変換と安定した電力制御

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