米国KRIホールイオン源eH 400

ネゴシエーション可能更新07/20

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概要

上海伯東が米国のカウフマン博士の代理として設立したカウフマン社KRIホールイオン源eH 400は低コスト設計で高イオン電流を提供し、ホールイオン源eH 400のサイズとイオンエネルギーは特に中小型の真空システムに適し、比較的低いイオンエネルギーを制御することができ、通常イオン補助めっき、予備洗浄と低エネルギーイオンエッチングに応用される。サイズ：直径＝3.7高＝3放電電圧／電流：50-300 eV／5 a動作ガス：Ar，Xe，Kr，O 2，N 2，有機前駆体

製品詳細

米国KRIホールイオン源eH 400製品の特性：

伯東KRIホールイオン源eH 400プロパティ:

1.取り外し可能アノードアセンブリ-メンテナンスが容易;メンテナンス時,ダウンタイムを最小限に抑える;プラグアンドプレイ用予備アノード

2.ワイドビーム高放電電流-きんいつエッチングりつ;エッチング効率が高い;高イオン補助めっき膜IAD効率性

3.多目的-適用Load lock /超高真空システム

4.効率的なプラズマ変換と安定した電力制御

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