米国KRIホールイオン源Gridless eHシリーズ

上海伯東が米国のカウフマン博士の代理として設立したカウフマン社KRIホールイオン源eHシリーズはワイドビーム型イオン源に属し、散乱角度45.ホールイオン源ガス流量は2-25 sccm/2-50 sccm/2-50 sccm/2-75 sccm/5-100 sccmなどの異なるレベルを選択できる。ホールイオン源電流は5 A/10 A/12 A/15 A/20 Aなどが選択可能である.ホールイオン源の高濃度はめっき膜の堆積速度を高め、低運動エネルギーはイオン衝撃損傷表面を減少し、広いビーム設計はスループットと堆積領域をカバーするのに有効である。全体的に操作しやすく、メンテナンスしやすい.ホールイオン源eHはイオン源、電子中和器、電源供給器、流量制御器MFCなどを含む完全なスキームを提供する。